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龙图腾网获悉浙江众凌科技有限公司申请的专利一种湿法蚀刻设备及金属掩膜版获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121295182B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511862803.2，技术领域涉及：C23F1/08；该发明授权一种湿法蚀刻设备及金属掩膜版是由王凤姣;徐华伟;龚月良;闫西安;张志锴;叶大成设计研发完成，并于2025-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种湿法蚀刻设备及金属掩膜版在说明书摘要公布了：本发明涉及显示技术领域，提供了一种湿法蚀刻设备及金属掩膜版，包括：至少三个蚀刻区以及两个感应区，第一蚀刻区、第一感应区、第二蚀刻区、第二感应区及第三蚀刻区依次连接；蚀刻区用于进行蚀刻，感应区用于检测经过蚀刻后掩膜版的幅宽方向均一性和或行进方向均一性；如果第二蚀刻区用于根据第一感应区检测到的幅宽方向均一性的结果进行第二次蚀刻，则第三蚀刻区用于根据第二感应区检测到的行进方向均一性的结果进行第三次蚀刻；如果第二蚀刻区用于根据第一感应区检测到的行进方向均一性的结果进行第二次蚀刻，则第三蚀刻区用于根据第二感应区检测到的幅宽方向均一性的结果进行第三次蚀刻，更高效地解决了掩膜版面内蚀刻均一性差的问题。

本发明授权一种湿法蚀刻设备及金属掩膜版在权利要求书中公布了：1.一种湿法蚀刻设备，其特征在于，包括： 至少三个蚀刻区以及至少两个感应区，所述三个蚀刻区包括第一蚀刻区、第二蚀刻区及第三蚀刻区，所述两个感应区包括第一感应区及第二感应区，所述第一蚀刻区、所述第一感应区、所述第二蚀刻区、所述第二感应区及所述第三蚀刻区依次连接； 所述第一蚀刻区、所述第二蚀刻区及所述第三蚀刻区用于对掩膜版进行依次连续的第一次蚀刻、第二次蚀刻及第三次蚀刻，所述第一感应区用于检测经过所述第一次蚀刻后掩膜版的幅宽方向均一性和或行进方向均一性；所述第二感应区用于检测经过第二次蚀刻后掩膜版的幅宽方向均一性和或行进方向均一性； 如果所述第二蚀刻区用于根据所述第一感应区检测到的幅宽方向均一性的结果进行第二次蚀刻，则所述第三蚀刻区用于根据所述第二感应区检测到的行进方向均一性的结果进行第三次蚀刻； 如果所述第二蚀刻区用于根据所述第一感应区检测到的行进方向均一性的结果进行第二次蚀刻，则所述第三蚀刻区用于根据所述第二感应区检测到的幅宽方向均一性的结果进行第三次蚀刻。

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