北京理工大学王晓毅获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利一种基于碳膜制备柔性微纳器件的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121208091B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511745338.4，技术领域涉及：G01N27/30；该发明授权一种基于碳膜制备柔性微纳器件的方法是由王晓毅;朱晓雅;柳子祺设计研发完成，并于2025-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于碳膜制备柔性微纳器件的方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于碳膜制备柔性微纳器件的方法，属于微纳器件制造领域。本发明提供了一种制备柔性电化学传感器所用碳膜的制备方法，包括以下步骤：将含氧化石墨烯与聚合物的浆料涂覆在第一基底后进行碳化反应，形成类石墨碳膜。本发明氧化石墨烯和聚合物经碳化后形成具有高度柔性、优异导电性和良好附着力的连续碳膜结构，该碳化膜可直接在晶圆级基底上实现图案化微结构加工，具备良好的结构均匀性和重复性，适用于大批量柔性微电极阵列的集成制造。
本发明授权一种基于碳膜制备柔性微纳器件的方法在权利要求书中公布了：1.一种柔性电化学传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 将含氧化石墨烯与聚合物的浆料涂覆在第一基底后进行碳化反应，形成类石墨碳膜，得到碳膜；所述浆料中氧化石墨烯的质量分数为0.5~1%;所述聚合物包括聚酰胺酸；所述涂覆所得湿膜的厚度为800~2000nm; 在所述碳膜表面沉积柔性衬底，然后利用粘接剂将柔性衬底的表面与第二基底进行粘接，而后将碳膜与第一基底分离，得到制备柔性电化学传感器所用器件；所述粘接剂为光刻胶；所述粘接剂可被极性有机溶剂溶解； 在碳膜表面旋涂光刻胶后进行光刻、刻蚀，形成电极图形；所述电极图形包括工作电极图形、对电极图形和参比电极图形； 将所述器件中柔性衬底与第二基底之间的粘接剂溶于极性有机溶剂中，使柔性基底与第二基底分离； 将所述工作电极图形、对电极图形和参比电极图形中的PAD分别连接金属引线并在连接处涂覆UV胶进行封装； 在所述工作电极图形上依次制备层叠的催化层、酶类识别层和选择性膜，形成工作电极，在所述参比电极图形上用银氯化银油墨进行印刷，形成参比电极，并在所述参比电极表面上滴涂NafionKCl构成盐桥，得到所述柔性电化学传感器。
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