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龙图腾网获悉扬华智造(四川)创新科技有限公司申请的专利一种主从分区协同加压的抛光头及其在晶圆抛光中的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121083500B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511419227.4，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权一种主从分区协同加压的抛光头及其在晶圆抛光中的应用是由江亮;周辽;魏宇廷设计研发完成，并于2025-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种主从分区协同加压的抛光头及其在晶圆抛光中的应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种主从分区协同加压的抛光头及其在晶圆抛光中的应用，该抛光头包括连接模块、保持环柔性加压模块、主从分区协同加压模块，连接模块与主机主轴相连，其内部设有多路气道，可实现多路气体的稳定传输，保持环柔性加压模块通过气体驱动环形气囊形变，对保持环柔性加压，确保其紧密贴合抛光垫，避免抛光过程中晶圆滑片，主从分区协同加压模块包括物理隔离的主分区和多个从分区，主分区具备大加压能力，可以通过大压力调控晶圆的整体材料去除速率，从分区可以通过小压力精细调控晶圆的表面形貌，从而综合实现晶圆高材料去除速率、高平坦度抛光，且该模块采用楔形导向机构，可提高抛光头对晶圆厚度差异的容忍度，增强抛光过程的安全性。

本发明授权一种主从分区协同加压的抛光头及其在晶圆抛光中的应用在权利要求书中公布了：1.一种主从分区协同加压的抛光头，其特征在于：包括连接模块、保持环柔性加压模块、主从分区协同加压模块，所述连接模块的一端通过抱箍与主机主轴连接，其内部设有多路气道，用于将主机主轴输送的多路气体稳定传输至抛光头内部各个功能区域，所述连接模块的另一端通过环形气囊5连接至所述保持环柔性加压模块的一端，所述保持环柔性加压模块的另一端通过气膜2连接至所述主从分区协同加压模块，在主机主轴的驱动下，所述连接模块带动保持环柔性加压模块和主从分区协同加压模块实现旋转和移动，所述保持环柔性加压模块通过气体驱动环形气囊5产生适应性形变，对保持环1柔性加压，确保其紧密贴合抛光垫，避免抛光过程中晶圆滑片，所述主从分区协同加压模块通过协同调控主从分区压力，综合实现晶圆高材料去除速率、高平坦度抛光； 所述主从分区协同加压模块包括气膜2、动板10、动圈组合、紧固圈11，所述动圈组合包括内动圈12、中动圈13、外动圈14，所述气膜2的气膜密封圈201位于保持环1与固定腔3之间，通过保持环1与固定腔3的挤压实现密封，形成主分区，在主分区气体驱动下，推动动板10移动，将力传递至晶圆，实现主分区加压，从而调控晶圆的整体材料去除速率，所述气膜2通过内部环形筋膜分隔为多个独立分区，所述动板10通过螺栓与动圈组合连接，所述气膜2位于动板10与动圈组合之间，通过动板10与动圈组合挤压所述气膜2内部环形筋膜实现各个从分区的密封，在各个从分区气体驱动下，实现从分区加压，从而调控晶圆的表面形貌。

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