沈阳青来微电子科技有限公司张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳青来微电子科技有限公司申请的专利一种声学驱动的微液滴喷射方法及其装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121004093B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510943711.0,技术领域涉及:B05B17/06;该发明授权一种声学驱动的微液滴喷射方法及其装置是由张磊;王超设计研发完成,并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种声学驱动的微液滴喷射方法及其装置在说明书摘要公布了:本发明涉及微米级液滴射流与喷墨技术领域,具体是一种声学驱动的微液滴喷射方法及其装置,包括:向喷头微孔组件稳定输送待喷液体;生成超声信号,经功率放大后驱动超声换能器;通过超声换能器驱动共振声腔喷头,在腔内形成亚波长尺度的稳定驻波声场;利用声辐射力作用于喷头端部的液柱,实现液滴的无接触分离与定向喷射;通过多轴运动平台控制喷头在基底上移动,实现液滴按预定轨迹沉积。该方法及装置避免了传统压电或电流体驱动方式中因液体高粘度或高固含而导致的喷嘴堵塞等问题;可显著提升液滴尺寸和喷射速度的控制精度,具备优异的流体适应性与喷射稳定性,特别适用于光刻胶、金属浆料及功能纳米材料等复杂流体的精密沉积与图形化喷印。
本发明授权一种声学驱动的微液滴喷射方法及其装置在权利要求书中公布了:1.一种声学驱动的微液滴喷射装置,其特征在于,包括: 供液装置410,用于向喷头微孔组件170稳定输送待喷液体; 超声信号激励系统,包括信号发生器200、功率放大器210和超声换能器140,用于产生高频声波并驱动共振声腔喷头150; 共振声腔喷头150,与超声换能器140连接,用于在腔内形成亚波长尺度的稳定驻波声场,并通过声辐射力驱动液滴无接触分离; 喷头微孔组件170,与共振声腔喷头150共轴布置,包含微孔阵列结构,喷头微孔组件170位于共振声腔喷头150形成的声辐射力方向,用于使声辐射力作用于其端部的液柱,实现液滴的无接触分离与定向喷射; 多轴运动平台310,用于控制喷头微孔组件170在X-Y平面内移动,实现液滴在基底320上的预定轨迹沉积; 监控控制系统220,与超声信号激励系统连接,用于控制超声信号的参数与监测系统状态。
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