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江苏道达智能科技有限公司曹旭东获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏道达智能科技有限公司申请的专利一种晶圆盒搬运系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120998840B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511018703.1,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种晶圆盒搬运系统是由曹旭东;张晓鹏;严翔设计研发完成,并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆盒搬运系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆盒搬运系统,包括:晶圆盒,晶圆盒包括拿取块;AMR,AMR包括移动部、载物部、机械臂、夹爪和图像采集单元,载物部包括电控箱和载物台,载物部位于移动部上,机械臂的基座固定于载物部上,夹爪与拿取块匹配设计,夹爪和图像采集单元设置于机械臂的末端,移动部、图像采集单元和机械臂均与电控箱电连接,电控箱驱动和控制移动部移动,电控箱根据图像采集单元采集的夹爪和拿取块的图像,控制机械臂运动,以使夹爪与拿取块对位并拿取晶圆盒。本发明能够通过一个AMR实现对多种晶圆盒的搬运,路径规划和移动场景简单,搬运效率高。

本发明授权一种晶圆盒搬运系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒搬运系统,其特征在于,包括: 晶圆盒100,所述晶圆盒100包括拿取块110; AMR200,所述AMR200包括移动部210、载物部220、机械臂230、夹爪240和图像采集单元250,所述载物部220包括电控箱221和载物台222,所述载物部220位于所述移动部210上,所述机械臂230的基座固定于所述载物部220上,所述夹爪240与所述拿取块110匹配设计,所述夹爪240和所述图像采集单元250设置于所述机械臂230的末端,所述移动部210、所述图像采集单元250和所述机械臂230均与所述电控箱221电连接,所述电控箱221驱动和控制所述移动部210移动,所述电控箱221根据所述图像采集单元250采集的所述夹爪240和所述拿取块110的图像,控制所述机械臂230运动,以使所述夹爪240与所述拿取块110对位并拿取所述晶圆盒100, 所述拿取块110呈长方体,所述夹爪240包括两个相互平行的夹臂241和连接于两个所述夹臂241的末端之间的支撑杆242,在两个所述夹臂241的内侧,均开设有贯通所述夹臂241长度方向的凹槽243,所述支撑杆242与每个所述夹臂241的末端的连接位置位于所述凹槽243的一侧,且所述支撑杆242与所述凹槽243另一侧之间的间隙大于所述拿取块110的厚度,以形成适于所述拿取块110插入、抽出的插缝244, 在至少一个所述夹臂241的所述凹槽243的槽内还设置有到位传感器,以检测所述拿取块是否插入到位,所述到位传感器为压力传感器245,所述拿取块110的至少一侧开设至少一个缺口111,所述压力传感器245适应所述缺口111的位置设置,所述电控箱221与所述压力传感器245电连接,以在所述压力传感器245检测到从压力持续到变化至无压力时,判断所述拿取块110插入到位。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏道达智能科技有限公司,其通讯地址为:211100 江苏省南京市江宁区秣陵街道铺岗街388号3栋(江宁开发区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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