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东莞市鼎力自动化科技有限公司姚禄华获国家专利权

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龙图腾网获悉东莞市鼎力自动化科技有限公司申请的专利一种防硅片氧化的药液清洗装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117548424B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311779795.6,技术领域涉及:B08B3/12;该发明授权一种防硅片氧化的药液清洗装置是由姚禄华;胡运俊;李成;郑油根;阮清山;赵江风设计研发完成,并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

一种防硅片氧化的药液清洗装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种防硅片氧化的药液清洗装置,包括操作主体,操作主体包括底座,底座通过设置在其顶部的支架转动连接有转轴,转轴圆周外表面固定连接有超声波清洗箱;超声波清洗箱内设有放置部,放置部包括支撑块,支撑块底部与超声波清洗箱内壁底部固定连接,支撑块顶部固定连接有支撑板,支撑板顶部固定连接有框板,一对框板的相邻面之间设置有可用于外部硅片放置的载物件。本发明设置超声波清洗箱和放置部,使超声波清洗箱左右间歇式摆动,从而使得硅片的下表面间歇交替与第二载物板和第一载物板接触,能够对硅片的下表面进行充分清洗,省去将硅片翻转180度二次清洗的麻烦,节省清洗时间,清洗效率高,且利于自动化生产。

本发明授权一种防硅片氧化的药液清洗装置在权利要求书中公布了:1.一种防硅片氧化的药液清洗装置,其特征在于,包括: 操作主体1,所述操作主体1包括底座11,所述底座11通过设置在其顶部的支架12转动连接有转轴13,所述转轴13圆周外表面固定连接有超声波清洗箱14; 放置部2,所述放置部2包括支撑块21,所述支撑块21底部与超声波清洗箱14内壁底部固定连接,所述支撑块21顶部固定连接有支撑板22,所述支撑板22顶部固定连接有框板23,一对所述框板23的相邻面之间设置有可用于外部硅片放置的载物件24; 所述超声波清洗箱14顶部通过阻尼器铰链转动连接有可视窗15,所述底座11顶部固定连接有与超声波清洗箱14底部相连接的升降座16; 所述载物件24包括第一载物板241和第二载物板242,所述第一载物板241和第二载物板242从左到右依次交错分布,所述第一载物板241的端面与框板23侧面固定连接,所述框板23下表面开设有与第二载物板242外表面相贴合的升降槽231,所述第二载物板242顶部固定连接有升降杆243,且该升降杆243顶端贯穿升降槽231并与框板23内部滑动连接; 所述第一载物板241和第二载物板242内部均开设有透水孔244,所述第一载物板241和第二载物板242下表面均固定连接有三角板245,所述三角板245底部固定连接有弧形杆246。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东莞市鼎力自动化科技有限公司,其通讯地址为:523000 广东省东莞市石碣镇石碣铭华路48号3栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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