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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116989666B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310953839.6，技术领域涉及：G01B9/02055；该发明授权一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法是由卞洪飞;蔡健;吴春晓;蔡潍;汪涛;李智;韦巍设计研发完成，并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法，包括：工件台组件、干涉仪组件和控制器，执行以下步骤：控制工件台组件和设于工件台组件上的测距仪调整工件台吸盘的旋转角及平面度；将标定板放置在工件台吸盘上，且根据光栅尺坐标与标定板坐标差补偿工件台组件的机械误差；根据光栅尺反馈控制工件台纵轴和横轴的移动，以对激光干涉仪组件光路准直；根据光栅尺的反馈控制工件台纵轴和横轴移动，通过干涉仪检测干涉仪组件的平面反射镜在工件台组件的安装状态，并调整平面镜的俯仰和偏摆角度；控制工件台光栅尺原点与干涉仪原点一致；将工件台位置反馈由光栅尺反馈切换为干涉仪，通过标定板补偿干涉仪组件的安装残余误差。

本发明授权一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法，其特征在于，包括： 工件台组件，所述工件台组件包括工件台吸盘、纵轴和两个横轴，所述纵轴连接于两个所述横轴的中部，两个所述横轴上对应设置有第一光栅尺，所述纵轴上设有第二光栅尺，所述工件台吸盘可移动设于所述纵轴上，所述工件台吸盘上间隔设置有图像传感器、物镜和测距仪，所述工件台吸盘在第一方向上的外侧设有第一反射镜，所述工件台吸盘在第二方向上的外侧设有第二反射镜； 干涉仪组件，所述干涉仪组件包括第一干涉仪和第二干涉仪，所述第一干涉仪设于所述工件台吸盘在第一方向上的一侧，且与所述第一反射镜相对设置，所述第二干涉仪设于所述工件台吸盘在第二方向上的一侧，且与所述第二反射镜相对设置； 控制器，所述控制器与所述工件台组件和所述干涉仪组件通信连接，所述控制器用于执行以下步骤： 控制所述工件台组件和设于所述工件台组件上的所述测距仪，以调整所述工件台吸盘的工作状态； 所述激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法还包括标定板，所述标定板放置在所述工件台吸盘上，且根据所述第一光栅尺和所述第二光栅尺与所述标定板的对应关系补偿所述工件台组件的机械误差； 当所述标定板设于所述工件台吸盘上时，移动所述纵轴和所述横轴，以让所述物镜与所述标定板相对设置时以让所述图像传感器获取标定板靶标中心图像，并记录实际的平台坐标与标定板靶标理论坐标差值； 根据所述第一光栅尺的反馈和所述第二光栅尺的反馈控制所述纵轴和所述横轴的移动，以对所述干涉仪组件光路准直； 根据所述第一光栅尺的反馈和所述第二光栅尺的反馈控制所述纵轴和所述横轴移动，通过干涉仪检测所述干涉仪组件的反射镜在所述工件台组件的安装状态并调整； 控制所述第一光栅尺和所述第二光栅尺原点与所述干涉仪原点一致； 将工件台位置反馈由光栅尺反馈切换为干涉仪，通过所述标定板补偿所述干涉仪组件的安装残余误差。

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