应用材料公司苏哈斯·班加罗尔·乌梅什获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利使用间距补偿降低靶材寿命内的基板温度不均匀性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116940706B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280019563.8，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权使用间距补偿降低靶材寿命内的基板温度不均匀性是由苏哈斯·班加罗尔·乌梅什;普雷塔姆·拉奥;希里什语·A·佩特;张富宏;基索尔·库马尔·卡拉提帕拉比尔;马丁·李·瑞克;仲兰兰设计研发完成，并于2022-02-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用间距补偿降低靶材寿命内的基板温度不均匀性在说明书摘要公布了：在此提供处理多个基板的方法及设备。在一些实施方式中，在物理气相沉积PVD腔室中处理多个基板的方法包括：在设置于PVD腔室中的溅射靶材的寿命的至少一部分期间，在对应的一系列的基板上执行一系列的再流处理，其中在PVD腔室中的基板至靶材距离及在PVD腔室内的支撑件至靶材距离各自被控制成溅射靶材的寿命的函数。
本发明授权使用间距补偿降低靶材寿命内的基板温度不均匀性在权利要求书中公布了：1.一种在物理气相沉积腔室中处理多个基板的方法，包含以下步骤： 在设置于所述物理气相沉积腔室中的溅射靶材的寿命的至少一部分期间，系列的再流处理在对应的系列的基板上执行，其中在所述物理气相沉积腔室中的基板至靶材距离与在所述物理气相沉积腔室内的支撑件至靶材距离各自被控制为所述溅射靶材的所述寿命的函数。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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