华中科技大学衣启源获国家专利权
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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种片上气体传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116930111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310719039.8,技术领域涉及:G01N21/3504;该发明授权一种片上气体传感器是由衣启源;熊歆喆;沈力;程光炼;李启元;颜志伟设计研发完成,并于2023-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种片上气体传感器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种片上气体传感器,属于集成光子气体传感领域。包括两个片上模式转换器、中心总线亚波长光栅和两侧的窄亚波长光栅。片上模式转换器由三节锥形和两段模式转换区组成,而目标气体在2000nm波段存在吸收峰,与光场接触后吸收特定波段的光,通过检测宽谱光的强度完成气体浓度的探测。相比于传统的片上条波导气体传感器,本发明明显提升了器件的灵敏度和检测限,并且尺寸也不大,满足集成光电子器件的尺寸要求,将更灵巧的应用于光互连系统中。且该片上气体传感器避免了其他高灵敏度传感器件需要的复杂工艺,制造难度低。
本发明授权一种片上气体传感器在权利要求书中公布了:1.一种片上气体传感器,其特征在于,包括:两个片上模式转换器1,中心总线亚波长光栅2,及分布在中心总线亚波长光栅2两侧的窄亚波长光栅3,所述两个片上模式转换器1对称分布在中心总线亚波长光栅2和窄亚波长光栅3两端,并互相耦合;工作时,条波导模式从第一个片上模式转换器1输入,通过模式转换后,转化为在中心总线亚波长光栅2和窄亚波长光栅3中传输的双槽模式,此时处于上包层中的光场与目标气体相互接触,目标气体将特定波长的光场能量吸收,在被气体完全吸收后,双槽模式到达第二个片上模式转换器1,逆向经历模式转换后,光场转换为条波导模式输出。
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