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恩普士(上海)国际贸易有限公司尹锺旭获国家专利权

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龙图腾网获悉恩普士(上海)国际贸易有限公司申请的专利调节装置及控制所述调节装置的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116900941B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310430784.0,技术领域涉及:B24B53/017;该发明授权调节装置及控制所述调节装置的方法是由尹锺旭;徐章源;文寿泳;金京焕;权泰庆设计研发完成,并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

调节装置及控制所述调节装置的方法在说明书摘要公布了:本公开涉及一种调节装置,包括:喷射器,用于将蒸汽喷射到旋转的抛光垫上;以及喷射器支架,支撑所述喷射器。所述喷射器包括用于向所述抛光垫喷射所述蒸汽的多个喷嘴和用于加热多个所述喷嘴的喷嘴加热器。所述喷嘴加热器将多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫的外围区域的喷嘴加热到比多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫的中心区域的喷嘴更高的温度。

本发明授权调节装置及控制所述调节装置的方法在权利要求书中公布了:1.一种调节装置,其特征在于,包括: 喷射器,用于将蒸汽喷射到旋转的抛光垫上; 喷射器支架,支撑所述喷射器; 传感器,用于测量所述抛光垫的温度;以及 控制器,基于所述传感器的测量结果控制所述喷射器, 其中,所述喷射器包括用于向所述抛光垫喷射所述蒸汽的多个喷嘴和用于加热多个所述喷嘴的喷嘴加热器,并且 所述喷嘴加热器将多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫的外围区域的喷嘴加热到比多个所述喷嘴中对应于所述抛光垫的中心区域的喷嘴更高的温度, 其中,所述外围区域在所述抛光垫的径向方向上设置于所述中心区域的外部,以围绕所述中心区域,并且 所述控制器计算中心温度和外围温度之间的差值,当所述差值大于预设的设定值时,控制所述喷嘴加热器,使多个所述喷嘴中对应于所述外围区域的所述喷嘴被加热到比多个所述喷嘴中对应于所述中心区域的所述喷嘴更高的温度,其中,所述中心温度为所述中心区域的温度,所述外围温度为所述外围区域的温度, 所述外围区域包括: 内周区域,围绕所述中心区域;以及 外周区域,在所述径向方向上设置于所述内周区域的外部,以围绕所述内周区域, 其中,所述控制器计算第一差值及第二差值,所述第一差值是所述中心温度与第一外围温度之间的差值,所述第一外围温度是所述内周区域的温度,所述第二差值是所述中心温度与第二外围温度之间的差值,所述第二外围温度是所述外周区域的温度,当所述第一差值小于所述设定值并且所述第二差值大于所述设定值时,控制所述喷嘴加热器,使多个所述喷嘴中对应于所述内周区域的所述喷嘴被加热到比多个所述喷嘴中对应于所述外周区域的所述喷嘴更高的温度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人恩普士(上海)国际贸易有限公司,其通讯地址为:韩国京畿道平泽市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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