江苏长光时空光电技术有限公司张星获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏长光时空光电技术有限公司申请的专利一种具有多角度激光输出的垂直腔面激光器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116780338B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310879134.4,技术领域涉及:H01S5/183;该发明授权一种具有多角度激光输出的垂直腔面激光器及其制备方法是由张星设计研发完成,并于2023-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有多角度激光输出的垂直腔面激光器及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种具有多角度激光输出的垂直腔面激光器及其制备方法。本发明包括衬底,衬底上表面设置有凹槽;N型DBR反射镜层,设置于凹槽表面;有源层,设置于N型DBR反射镜层表面;氧化层,设置于有源层表面;P型DBR反射镜层,设置于氧化层表面;P面电极层,设置于P型DBR反射镜层表面,P面电极层表面设置有中心出光孔;N面电极层,设置于衬底下表面;凹槽的表面包括如下形式:由多个环向设置的侧直面组成,或者由一个位于底部的直面和多个环向设置的直面组成,或者是弧面,或者是弧面和直面的组合形式;氧化层设置有多个氧化孔,每个氧化孔对应凹槽上的各个直面或弧面对应设置。本发明能够实现多角度激光同步输出。
本发明授权一种具有多角度激光输出的垂直腔面激光器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种具有多角度激光输出的垂直腔面激光器,其特征在于,包括: 衬底,所述衬底上表面设置有凹槽; N型DBR反射镜层,设置于所述凹槽表面; 有源层,设置于所述N型DBR反射镜层表面; 氧化层,设置于所述有源层表面; P型DBR反射镜层,设置于所述氧化层表面; P面电极层,设置于P型DBR反射镜层表面,所述P面电极层表面设置有中心出光孔; N面电极层,设置于所述衬底下表面; 其中,所述凹槽的表面包括如下形式:由多个环向设置的侧直面组成,或者由一个位于底部的直面和多个环向设置的直面组成,或者是弧面,或者是弧面和直面的组合形式; 其中,所述氧化层设置有多个氧化孔,每个所述氧化孔对应所述凹槽上的各个直面或弧面对应设置,以实现多角度激光输出; 所述中心出光孔尺寸大于每个所述氧化孔尺寸。
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