深圳综合粒子设施研究院王旭获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳综合粒子设施研究院申请的专利一种X射线与电子束联用测试设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116754593B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310747877.6,技术领域涉及:G01N23/223;该发明授权一种X射线与电子束联用测试设备是由王旭;李海菁;舒淼;杨纯臻;司锐设计研发完成,并于2023-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种X射线与电子束联用测试设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种X射线与电子束联用测试设备,属于测试设备领域。X射线与电子束联用测试设备包括透射电镜装置、X射线强度探测装置、X射线发射装置和X射线荧光接收装置。透射电镜装置包括装置主体和样品支撑组件,样品支撑组件的一部分穿设于第一通孔设置在内腔内;X射线强度探测装置设置于装置主体外,且朝向第二通孔设置;X射线发射装置发射的X射线依次穿过气体电离室和第二通孔射向样品;X射线荧光接收装置的一部分穿设于第三通孔设置在内腔内,且朝向样品的方向设置。本申请提供的X射线与电子束联用测试设备,能够同时对样品进行X射线吸收精细结构谱测试和透射电子成像测试,以获得样品真实可对应的二维形貌像和局域配位结构信息。
本发明授权一种X射线与电子束联用测试设备在权利要求书中公布了:1.一种X射线与电子束联用测试设备,其特征在于,包括: 透射电镜装置,所述透射电镜装置包括装置主体和样品支撑组件,所述装置主体具有内腔,沿所述装置主体的周向间隔开设有第一通孔、第二通孔和第三通孔,所述样品支撑组件的一部分穿设于所述第一通孔设置在所述内腔内,用于安装样品; X射线强度探测装置,具有气体电离室,所述X射线强度探测装置设置于所述装置主体外,且朝向所述第二通孔设置; X射线发射装置,所述X射线发射装置发射的X射线依次穿过所述气体电离室和所述第二通孔射向所述样品; X射线荧光接收装置,所述X射线荧光接收装置的一部分穿设于所述第三通孔设置在所述内腔内,且朝向所述样品的方向设置,用于接收所述样品激发的特征X射线; 所述X射线与电子束联用测试设备还包括驱动件,所述样品支撑组件包括样品杆和样品支架,所述样品支架设置于所述内腔内,用于安装所述样品,所述样品杆的一端与所述驱动件的输出端连接,另一端穿设于所述第一通孔与所述样品支架连接; 所述样品支架包括支架主体、连接组件和样品台,所述支架主体开设有与所述连接组件和所述样品台相适配的第一安装槽,且开设有与所述样品杆相适配的第二安装槽,所述样品台通过所述连接组件与所述支架主体连接; 所述连接组件包括连接轴、弹性件和配合件,所述第一安装槽的槽壁开设有与所述连接轴相适配的安装孔,所述弹性件和所述配合件均套设于所述连接轴上,所述配合件的一端具有第一抵接部,所述样品台具有与所述第一抵接部相适配的第二抵接部,所述弹性件的一端与所述支架主体抵接,另一端与所述第二抵接部远离所述第一抵接部的一侧抵接; 所述弹性件包括弹簧主体、位于所述弹簧主体一端的第一扭臂和位于所述弹簧主体另一端的第二扭臂,所述弹簧主体与所述第一扭臂和所述第二扭臂一体成型,所述弹簧主体套设于所述连接轴上,所述第一扭臂与所述支架主体支撑抵接,所述第二扭臂与所述第二抵接部远离所述第一抵接部的一侧支撑抵接。
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