北京京仪自动化装备技术股份有限公司刘紫阳获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请的专利换热介质回收装置和回收方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116538703B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310576204.9,技术领域涉及:F25B29/00;该发明授权换热介质回收装置和回收方法是由刘紫阳;耿海东;董春辉;靳李富;胡文达;郑璐设计研发完成,并于2023-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本换热介质回收装置和回收方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种换热介质回收装置和回收方法,属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域,分流单元的入口端与设有待回收换热介质的温控装置的出口端连接,分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接,冷凝单元的出口端与回收单元连接,回收单元对气液混合物进行气液分离,得到液态的换热介质,并将分离后的气体输出至气体循环单元内;加热单元分别与压缩机和温控装置连接,气体循环单元的出口端与加热单元的入口端连接,用于将加热单元降温后的气体输出至温控装置内。本发明使得分流单元、回收单元、气体循环单元和待回收的温控装置之间形成循环通路,基于冷凝法对温控装置内的换热介质进行循环回收处理,提高了液体的回收率。
本发明授权换热介质回收装置和回收方法在权利要求书中公布了:1.一种换热介质回收装置,其特征在于,包括分流单元、压缩机、冷凝单元、气体循环单元、加热单元和回收单元; 所述分流单元的入口端与温控装置的出口端连接,所述分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接,将所述温控装置输出的气体分别传输至所述冷凝单元和所述气体循环单元内,其中,所述温控装置含有待回收换热介质; 所述冷凝单元的出口端与所述回收单元连接,用于对所述分流单元输入的气体进行冷凝处理,得到气液混合物,将所述气液混合物输出至所述回收单元内,所述回收单元对所述气液混合物进行气液分离,得到液态的所述换热介质,并将分离后的气体输出至所述气体循环单元内; 所述压缩机与所述冷凝单元连接:所述加热单元分别与所述压缩机和所述温控装置连接,用于对所述气体循环单元排出的气体进行加热,所述气体循环单元的出口端与所述加热单元的入口端连接,用于将所述加热单元升温后的气体输出至所述温控装置内; 冷凝单元包括冷凝器和蒸发器,所述冷凝器的入口端与所述加热单元连接,出口端与所述蒸发器连接,所述蒸发器与所述压缩机连接,所述蒸发器的放热侧管路的出口端与所述回收单元连接,基于换热原理对所述分流单元输入的气体进行冷凝处理。
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