英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司马雪峰获国家专利权
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龙图腾网获悉英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司申请的专利用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116296126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310374128.3，技术领域涉及：G01M3/24；该发明授权用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质是由马雪峰;巫缘婷设计研发完成，并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质在说明书摘要公布了：提出了一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括：接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号；泄漏确定单元，其用于基于所述第一信号确定在所述第一位置附近所述气路是否存在泄漏；以及警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。能够在气体泄漏检测中避免检测人员的不适感和主观性，并且能够实现对微小泄漏的检测。
本发明授权用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置、方法和计算机可读介质在权利要求书中公布了：1.一种用于检测半导体设备中的气体泄漏的装置，包括： 接收单元，其用于接收表示从沿着所述半导体设备的气路的第一位置处采集的声音的第一信号以及表示从远离所述第一位置的第二位置处采集的声音的第二信号，所述第二信号与所述第一信号具有相同类型； 泄漏确定单元，其用于： 检测所述第一信号的幅度是否在第一预定时间窗口内超过幅度阈值第一预定次数， 检测所述第二信号的幅度是否在第二预定时间窗口内超过所述幅度阈值第二预定次数，并且 响应于检测到所述第一信号的幅度在所述第一预定时间窗口内超过所述幅度阈值所述第一预定次数并且所述第二信号的幅度在所述第二预定时间窗口内没有超过所述幅度阈值所述第二预定次数，确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏；以及 警报单元，其用于响应于确定在所述第一位置附近所述气路存在泄漏，发出警报。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人英特尔产品(成都)有限公司;英特尔公司，其通讯地址为：611731 四川省成都市高新技术开发区西区科新路8-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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