东洋纺株式会社德田桂也获国家专利权
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龙图腾网获悉东洋纺株式会社申请的专利层叠体以及柔性器件的制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115996840B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180044783.1,技术领域涉及:B32B17/10;该发明授权层叠体以及柔性器件的制作方法是由德田桂也;奥山哲雄;前田乡司;渡边直树;米虫治美;水口传一朗设计研发完成,并于2021-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本层叠体以及柔性器件的制作方法在说明书摘要公布了:提供了一种层叠体,从无机基板和高耐热膜的层叠体上剥离高耐热膜后,无机基板表面十分平滑,无机基板能够再次被使用。第1层叠体,其为第1高耐热膜和无机基板的实质上不使用粘合剂的第1层叠体,具有以下1~4的特征。1第1高耐热膜的拉伸弹性模量为4GPa以上;2第1高耐热膜与无机基板的粘合强度为0.3Ncm以下;3第1高耐热膜的与无机基板的接触面的表面粗糙度Ra为5nm以下;4从第1层叠体中剥离第1高耐热膜后的无机基板表面的表面粗糙度Ra为3nm以下。
本发明授权层叠体以及柔性器件的制作方法在权利要求书中公布了:1.一种第2层叠体的制造方法,具有: a从第1层叠体中剥离第1高耐热膜得到无机基板的工序, b在所述无机基板的层叠过所述第1高耐热膜的面上,层叠第2高耐热膜得到第2层叠体的工序, 所述第1层叠体为第1高耐热膜、无机基板以及所述高耐热膜与所述无机基板之间的硅烷偶联剂层的第1层叠体,所述第1层叠体具有以下1~5的特征: 1第1高耐热膜的拉伸弹性模量为4GPa以上, 2第1高耐热膜与无机基板的粘合强度为0.3Ncm以下, 3第1高耐热膜的与无机基板的接触面的表面粗糙度Ra为5nm以下, 4从第1层叠体中剥离第1高耐热膜后的无机基板表面的表面粗糙度Ra为3nm以下, 5所述无机基板的与所述第1高耐热膜的粘合面的氮元素成分比例为0.2原子%以上12原子%以下, 所述第2层叠体具有下述6~9的特征: 6第2高耐热膜的拉伸弹性模量为4GPa以上, 7第2高耐热膜与无机基板的粘合强度为0.3Ncm以下, 8第2高耐热膜的与无机基板的接触面的表面粗糙度Ra为5nm以下, 9从第2层叠体中剥离第2高耐热膜后的无机基板表面的表面粗糙度Ra为3nm以下, 所述拉伸弹性模量是如下测定的:使用拉伸试验机,在拉伸速度50mm分钟、卡盘间距40mm条件下,分别测定试验片的机械方向和宽度方向上的拉伸弹性模量, 所述粘合强度是如下测定的:将层叠体在大气气氛下、100℃下热处理10分钟,然后在室温、大气气氛下,以100mmmin的剥离速度测定玻璃基板与高耐热膜之间的90°剥离强度, 所述表面粗糙度Ra是如下测定的:在高耐热膜与无机基板接触的位置中,使用原子力显微镜,测定5μm见方的区域内表面粗糙度。
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