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龙图腾网获悉深圳国微福芯技术有限公司申请的专利近场的等效方法、掩码3D近场的修正方法、存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115857271B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211538719.1，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权近场的等效方法、掩码3D近场的修正方法、存储介质是由包涵;谢理;吴家俊;陈红设计研发完成，并于2022-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本近场的等效方法、掩码3D近场的修正方法、存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种近场的等效方法、掩码3D近场的修正方法、存储介质。其中光学近场的等效方法，包括：设定一个三轴坐标系，使得预设角度的光源的初始传播方向沿着第一轴向传播，并得到初始的波矢及偏振方向；根据所述光源的预设角度对初始的波矢以及偏振方向进行旋转操作；分析旋转操作以后光源的偏振方向，以及偏振矢量；根据多边形的预设角度旋转多边形和光源，得到新的波矢以及对应的旋转角度；分析再次旋转操作以后光源的偏振方向、偏振矢量及组分；以2D严格电磁学算法在等效条件下生成边缘近场；基于再次旋转操作以后光源的偏振方向，按各自对应的组分进行线性叠加，得到等效近场结果。本发明降低了近场生成的计算负担。

本发明授权近场的等效方法、掩码3D近场的修正方法、存储介质在权利要求书中公布了：1.一种光学近场的等效方法，其特征在于，包括： 步骤1，设定一个三轴坐标系，使得预设角度的光源的初始传播方向沿着第一轴向传播，并得到初始的波矢及偏振方向； 步骤2，根据所述光源的预设角度对初始的波矢以及偏振方向分别沿第二轴向方向、第三轴向方向各做一次旋转操作； 步骤3，分析旋转操作以后光源的偏振方向，以及偏振矢量； 步骤4，根据多边形的预设角度旋转多边形和光源，使得多边形的角度变为0度，且光源的光照向相对于多边形的边沿方向保持不变； 步骤5，得到新的波矢以及对应的旋转角度； 步骤6，根据步骤5的旋转角度分析再次旋转操作以后光源的偏振方向、偏振矢量及组分； 步骤7，将偏振矢量分解到对应的偏振方向上，得到各偏振方向上的组分； 步骤8，以2D严格电磁学算法在等效条件下生成边缘近场； 步骤9，基于再次旋转操作以后光源的偏振方向，按各自对应的组分进行线性叠加，得到预设角度的光源以及预设角度的多边形对应的等效近场结果。

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