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龙图腾网获悉深圳基本半导体有限公司申请的专利一种功率器件栅氧化层寿命评估方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115712047B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211190911.6，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种功率器件栅氧化层寿命评估方法是由和巍巍;汪之涵;唐宏浩设计研发完成，并于2022-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种功率器件栅氧化层寿命评估方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种功率器件栅氧化层寿命评估方法，包括：在功率器件的栅极施加N种不同大小的电压，并在每种电压下均以M种不同大小的温度进行高温栅偏压试验，其中，N和M均为大于1的整数；在功率器件全部失效时，获取N*M次高温栅偏压试验中预设百分比的功率器件发生失效的N*M个时间点；根据N种不同大小的电压、M种不同大小的温度以及N*M个时间点，计算功率器件用于表征栅氧化层寿命的特征参数；获取施加在待评估功率器件栅极的评估电压和待评估功率器件所处的评估温度，根据特征参数、评估电压和评估温度计算待评估功率器件的栅氧化层寿命。本申请可以实现对功率器件的寿命进行评估，且测试使用的器件数量少，成本低廉。

本发明授权一种功率器件栅氧化层寿命评估方法在权利要求书中公布了：1.一种功率器件栅氧化层寿命评估方法，其特征在于，包括： 在功率器件的栅极施加N种不同大小的电压，并在每种电压下均以M种不同大小的温度进行高温栅偏压试验，其中，N和M均为大于1的整数； 在所述功率器件全部失效时，获取NM次所述高温栅偏压试验中预设百分比的所述功率器件发生失效的NM个时间点； 根据所述N种不同大小的电压、所述M种不同大小的温度以及所述NM个时间点，计算所述功率器件用于表征栅氧化层寿命的特征参数，所述特征参数包括：加速因子、活化能； 获取施加在待评估功率器件栅极的评估电压和所述待评估功率器件所处的评估温度，根据所述特征参数、所述评估电压和所述评估温度计算所述待评估功率器件的栅氧化层寿命； 所述根据所述N种不同大小的电压、所述M种不同大小的温度以及所述NM个时间点，计算所述功率器件用于表征栅氧化层寿命的特征参数，包括： 根据所述N种不同大小的电压计算所述功率器件所处的N个栅氧场强； 将所述NM个时间点进行第一数据处理，得到NM个第一时间特征值； 绘制所述栅氧场强和所述第一时间特征值的第一关系图； 将所述M种不同大小的温度进行第二数据处理，得到M个温度特征值； 将所述NM个时间点进行第三数据处理，得到NM个第二时间特征值； 绘制所述温度特征值和所述第二时间特征值的第二关系图； 根据所述第一关系图和所述第二关系图得到所述特征参数； 所述根据所述第一关系图和所述第二关系图得到所述特征参数，包括： 根据所述第一关系图提取M个第一斜率，绘制所述第一斜率的绝对值与所述温度特征值的第三关系图； 根据所述第二关系图提取N个第二斜率，绘制所述第二斜率与所述栅氧场强的第四关系图； 根据所述第三关系图和所述第四关系图得到所述特征参数； 所述根据所述第三关系图和所述第四关系图得到所述特征参数，包括： 根据所述第三关系图得到所述加速因子，根据所述第四关系图得到所述活化能。

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