买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理系统、基板处理方法以及图制作装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699253B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180042634.1，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权基板处理系统、基板处理方法以及图制作装置是由秋元健司设计研发完成，并于2021-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理系统、基板处理方法以及图制作装置在说明书摘要公布了：基板处理系统具备测定装置、搬送装置、图制作装置以及评价装置。测定装置测定由对基板进行第一工序的处理的第一处理装置进行第一工序后的基板的错误。搬送装置在包括第一处理装置、第二处理装置以及所述测定装置的多个装置间搬送基板，该第二处理装置对基板进行在第一工序后进行的第二工序的处理。图制作装置针对每个基板，制作表示基板上的错误的分布的错误图。评价装置针对每个基板，基于错误图来计算表示错误的重要度的评价值。评价装置根据评价值是否为预先决定的第一阈值以上的判定结果，来向搬送装置指示被进行了第一工序后的基板的搬送目的地。

本发明授权基板处理系统、基板处理方法以及图制作装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理系统，具备： 测定装置，其测定由对基板进行第一工序的处理的第一处理装置进行所述第一工序的处理后的所述基板的错误； 搬送装置，其在包括所述第一处理装置、第二处理装置以及所述测定装置的多个装置间搬送所述基板，所述第二处理装置对所述基板进行在所述第一工序后进行的第二工序的处理； 图制作装置，其针对每个所述基板，制作表示所述基板上的所述错误的分布的错误图；以及 评价装置，其针对每个所述基板，基于所述错误图来计算表示错误的重要度的评价值， 其中，所述评价装置根据所述评价值是否为预先决定的第一阈值以上的判定结果，来向所述搬送装置指示被进行了所述第一工序后的所述基板的搬送目的地， 所述图制作装置具有： 错误量确定部，该错误量确定部针对每个所述基板，对多个配置芯片的所述基板上的区域即芯片区域的各个芯片区域确定表示错误的量的数值即错误量； 更新部，其针对每个所述基板，对包含错误的所述芯片区域，以该芯片区域的错误量与同该芯片区域邻接的其它芯片区域的错误量的合计值来更新该芯片区域的错误量；以及 制作部，其针对每个所述基板，在所述基板上的多个所述芯片区域中按照错误量从大到小的顺序确定出预先决定的比例的芯片区域，并将确定出的芯片区域的分布制作为错误图。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。