苏州维旺科技有限公司;苏州大学;盐城维旺科技有限公司张恒获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州维旺科技有限公司;苏州大学;盐城维旺科技有限公司申请的专利曝光系统及曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115685686B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110844841.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光系统及曝光装置是由张恒;方宗豹;浦东林;朱雷;司群英;陈林森设计研发完成，并于2021-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光系统及曝光装置在说明书摘要公布了：本发明涉及的曝光系统，用以在工件上曝光三维结构，曝光系统沿激光束前进方向依次设置有发射激光束的激光器、用以对激光束的光斑进行变倍扩束的扩束镜、限制激光束的光阑、偏转激光束方向的振镜、以及保证激光束垂直出射的场镜组，振镜包括用以反射激光束的反射片，反射片可旋转以扩大激光束出射的范围，激光束出射的范围为3mm*3mm‑15mm*15mm，曝光系统在光阑作用下，能够在工件上形成三维结构，振镜中的反射片能够可旋转以扩大激光束出射的范围，使得工件和曝光系统在不发生相对移动的情况下，就能曝光多个单元，大大地提高了曝光速率和工件加工效率。
本发明授权曝光系统及曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种曝光系统，用以在工件上曝光三维结构，其特征在于，所述曝光系统沿激光束前进方向依次设置有发射激光束的激光器、用以对所述激光束的光斑进行变倍扩束的扩束镜、限制所述激光束的光阑、偏转所述激光束方向的振镜、以及保证所述激光束垂直出射的场镜组，所述光阑为灰度光阑，所述灰度光阑的灰度在不同位置处不同，在中心位置处的灰度最低，越靠近所述灰度光阑的边缘，灰度越高，所述振镜包括用以反射所述激光束的反射片，所述反射片包括第一反射片和第二反射片，所述第一反射片对激光束进行X方向偏转，所述第二反射片对激光束进行Y方向偏转，所述反射片可旋转以扩大所述激光束出射的范围，以使得所述工件与所述曝光系统在不发生相对移动时曝光出多个单元，所述曝光系统与控制器电性连接，所述控制器被设定为根据设置的工艺参数控制曝光系统对曝光图形进行扫描曝光，直至区域内的曝光图形曝光完毕。
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