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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种高Q值吉赫兹谐振器及谐振方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115664373B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211252495.8，技术领域涉及：H03H9/24；该发明授权一种高Q值吉赫兹谐振器及谐振方法是由胡洪平;金俊设计研发完成，并于2022-10-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高Q值吉赫兹谐振器及谐振方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高Q值吉赫兹谐振器，属于高频MEMS器件领域，包括：支撑衬底，其中间设置有通孔；设置于支撑衬底上的环绕衬底，其面内设置有开孔；开孔的截面积小于通孔的截面积；以及纳米梁，其两端固定于开孔内侧；纳米梁由多个十字形单胞周期性排列构成，两端的十字形单胞构成两端的反射镜，剩余十字形单胞构成谐振腔，纳米梁关于腔中心对称；十字形单胞为声光子晶体；十字形单胞的宽度大于晶格常数；反射镜中十字形单胞的几何参数相同，谐振腔中的十字形单胞的几何参数由两端至谐振腔中心逐渐变化，具体为：px＝2x3‑3x2+1。本发明所提供的谐振器能够同时满足吉赫兹高频机械振动和高Q值需求。

本发明授权一种高Q值吉赫兹谐振器及谐振方法在权利要求书中公布了：1.一种高Q值吉赫兹谐振器，其特征在于，包括： 支撑衬底，其中间设置有通孔； 设置于所述支撑衬底上的环绕衬底，其面内设置有开孔；所述开孔的截面积小于所述通孔的截面积； 以及纳米梁，其两端固定于所述开孔内侧； 所述纳米梁由多个十字形单胞周期性排列构成，所述纳米梁两端的十字形单胞构成两端的反射镜，剩余的十字形单胞构成谐振腔，所述纳米梁关于谐振腔中心对称；所述十字形单胞为声光子晶体； 所述反射镜中的十字形单胞的几何参数相同；十字形单胞的几何参数包括：晶格常数、宽度、厚度、在x方向的边的宽度以及在y方向的边的宽度； 谐振腔中的十字形单胞的晶格常数和在y方向的边的宽度均由谐振腔两端至谐振腔中心逐渐变化，其余几何参数均与反射镜中的十字单胞保持一致； 其中，x方向为十字形单胞的排列方向，y方向垂直于x方向； 所述反射镜中，十字形单胞的晶格常数为a，十字形单胞在y方向的边的宽度为c；所述谐振腔中心为x方向原点，位于谐振腔中心处十字形单胞，其晶格常数为a1，其在y方向的边的宽度为c1，a1a，c1c；所述谐振腔中其余十字形单胞的晶格常数ai，以及在y方向的边的宽度ci，分别为： ； ； 其中，i为谐振腔中十字形单胞的编号，xi为谐振腔中第i个十字形单胞在x方向的坐标；px为预设的渐变函数，且px=2x3-3x2+1。

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