扬州虹扬科技发展有限公司陈宏胤获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州虹扬科技发展有限公司申请的专利一种新型硅片电泳前处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115642078B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211332272.2,技术领域涉及:H10P70/00;该发明授权一种新型硅片电泳前处理方法是由陈宏胤;贾健;杜凤设计研发完成,并于2022-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种新型硅片电泳前处理方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种新型硅片电泳前处理方法,在硫酸、双氧水溶液中处理步骤的前后增加了弱酸处理。本发明方法简单可以降低产品的破片率,提升硅片的强度,保证了操作的安全性,还能将硅片沟槽清洗干净,从而使得产品的品质、信赖性得到提升。
本发明授权一种新型硅片电泳前处理方法在权利要求书中公布了:1.一种新型硅片电泳前处理方法,其特征在于,包括如下步骤: 1取烧完胶的硅片在弱酸中处理15~45S; 2在硫酸、双氧水溶液中处理6~10min; 3在弱酸中处理15~45S; 4用流动纯水冲洗5~10min; 5在静止纯水中进行超声波清洗15~20min; 6在水槽中进行最后一级冲水,观察材料洁净度,最后一级冲水的水阻值≥10MΩcm; 所述弱酸为冰醋酸,所述冰醋酸的级别为电子级,温度为20~30℃; 所述步骤1的在弱酸中处理的步骤为,先在碳酸中处理15~30S,再在冰醋酸中处理15~30S; 所述步骤3的在弱酸中处理的步骤为,先在冰醋酸中处理15~30S,再在碳酸中处理15~30S。
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