买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉苏州科韵激光科技有限公司申请的专利一种晶圆自动去盖机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497865B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211281929.7，技术领域涉及：H10P56/00；该发明授权一种晶圆自动去盖机构是由赵刚;王伟;胡雄雄;张洪华;杨万震设计研发完成，并于2022-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆自动去盖机构在说明书摘要公布了：本发明属于半导体技术领域，公开了一种晶圆自动去盖机构，其包括承载件、导向件与驱动件，承载件上设置有下真空载件，导向件竖直设置在承载件上，导向件上滑移设置有上真空载件，上真空载件位于下真空载件上方，驱动件被配置为驱动上真空载件滑移。实际运用中，通过上真空载件吸附固定蓝宝石、下真空载件吸附固定基板以及驱动件驱动上真空载件滑移，因此，驱动件驱动上真空载件远离下真空载件时，能够带动基板与蓝宝石分离，即完成了晶圆去盖工序，由此减少晶圆去盖工序中人工的介入，进而有助于降低工人的劳动强度，同时，有助于提升产品合格率与产品生产效率。

本发明授权一种晶圆自动去盖机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动去盖机构，所述晶圆包括基板与蓝宝石，其特征在于，所述晶圆自动去盖机构包括： 承载件1； 下真空载件2，设置在所述承载件1上，所述下真空载件2用于吸附固定所述基板； 导向件3，沿竖直方向设置在所述承载件1上； 上真空载件4，滑移设置在所述导向件3上，所述上真空载件4位于所述下真空载件2上方，且所述上真空载件4用于吸附固定所述蓝宝石并将所述蓝宝石与所述基板分离； 驱动件5，被配置为驱动所述上真空载件4滑移； 所述晶圆自动去盖机构还包括弹性缓冲件，所述弹性缓冲件一端与所述上真空载件4连接，另一端与所述承载件1连接； 所述导向件3设置有多根，多根所述导向件3沿所述上真空载件4周向均布； 所述下真空载件2包括加热件22，所述加热件22用于加热待加工晶圆； 所述驱动件5为去盖气缸，所述去盖气缸通过转接件6固定于所述导向件3远离所述承载件1的一端；所述去盖气缸的活塞杆沿竖直方向贯穿所述转接件6，且所述活塞杆与所述上真空载件4固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州科韵激光科技有限公司，其通讯地址为：215100 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞苇路668号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。