埃地沃兹日本有限公司桦泽刚志获国家专利权
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龙图腾网获悉埃地沃兹日本有限公司申请的专利真空泵获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115103964B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180017185.5,技术领域涉及:F04D19/04;该发明授权真空泵是由桦泽刚志设计研发完成,并于2021-03-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空泵在说明书摘要公布了:本发明的真空泵具备罩11、在罩11的内侧配设的定子17、具有被相对于定子17旋转自如地支承的轴20并且与轴20一同被能够旋转地内置于罩11的圆筒状的转子18,其特征在于,在罩11内,配设有作为生成自由基的自由基发生装置10C的一部分的电极部36A。
本发明授权真空泵在权利要求书中公布了:1.一种真空泵,前述真空泵具备罩、定子、转子, 前述定子配设于前述罩的内侧, 前述转子具有被相对于前述定子旋转自如地支承的轴,并且与前述轴一同被能够旋转地内置于前述罩,前述转子为圆筒状, 前述真空泵的特征在于, 具备: 一对电极,被内包在前述罩内,被配置在涡轮分子泵部和螺纹槽泵部的边界处,将形成为圆筒状的板材与前述轴的轴中心同心地大致等间隔地配设多个,使得堆积在前述涡轮分子泵部和前述螺纹槽泵部的前述边界的周边的工艺气体均等地分解排出; 电源,对前述一对电极施加高频电压,用于在冲洗气体通过前述一对电极时生成自由基。
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