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天狼芯半导体(成都)有限公司曾健忠获国家专利权

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龙图腾网获悉天狼芯半导体(成都)有限公司申请的专利金半接触器件的结构、制造方法及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114899217B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210454849.0,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权金半接触器件的结构、制造方法及电子设备是由曾健忠设计研发完成,并于2022-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

金半接触器件的结构、制造方法及电子设备在说明书摘要公布了:一种金半接触器件的结构、制造方法及电子设备,属于半导体技术领域,通过包括衬底、边缘环结构和金属层;边缘环结构位于衬底中;金属层覆盖衬底且显露边缘环结构;其中,边缘环结构包括n个离子掺杂阱区;n为大于1的自然数;第i离子掺杂阱区位于第i+1离子掺杂阱区中;i为小于n的正整数;由于金属层覆盖所述衬底且显露所述边缘环结构,同时,边缘环结构包括n个离子掺杂阱区;第i离子掺杂阱区位于第i+1离子掺杂阱区中;使得金属层的边缘因嵌套的离子掺杂阱区形成逐渐减弱的电场分布,提高了器件最大反向偏压和器件的可靠度。

本发明授权金半接触器件的结构、制造方法及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种金半接触器件的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括: 步骤A:在衬底或者第m复合层上形成第m+1复合层;其中,第m复合层包括第m凹槽和m个材料区,第m材料区至第1材料区线性依次排列;第m+1复合层包括第m+1凹槽和m+1个材料区,第m+1材料区至第1材料区线性依次排列;m为小于等于n的正整数; 重复n次步骤A,以形成第n复合层;n为大于1的整数; 步骤B:在第j复合层上表面离子注入,以在所述衬底的第j凹槽所在位置形成第n-j+1离子掺杂阱区;j为小于等于n的正整数; 步骤C:移除所述第j复合层中的第j材料区以形成第j-1复合层;或者移除第1复合层以显露所述衬底; 重复n次步骤B和步骤C,以形成边缘环结构;所述边缘环结构包括n个离子掺杂阱区;n为大于1的自然数;第i离子掺杂阱区位于第i+1离子掺杂阱区中;i为小于n的正整数; 步骤D:在所述衬底上表面形成金属层;所述金属层覆盖所述衬底且显露所述边缘环结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天狼芯半导体(成都)有限公司,其通讯地址为:610000 四川省成都市高新区吉泰路5路88号香年广场T3栋4201室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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