东京毅力科创株式会社松本航获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114530404B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111246532.X，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法是由松本航设计研发完成，并于2021-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法。在基板的输送装置中适当地调节基板保持体的温度。一种基板保持体，其设于输送基板的装置，用于保持该基板，其中，该基板保持体具有：陶瓷制的主体部；以及热管，其在所述主体部的内部形成，具备作业流体的流路。
本发明授权基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种基板保持体，其设于输送基板的装置，用于保持该基板，其中， 该基板保持体具有： 陶瓷制的主体部；以及 热管，其在所述主体部的内部形成，具备作业流体的流路， 所述热管具备在所述流路的侧视内侧形成的陶瓷制的芯部，且所述芯部形成在所述流路的中心部分， 所述芯部的孔隙率比所述主体部的孔隙率高，并且所述芯部成为毛细管构造， 所述主体部具备： 内侧主体部，其构成所述流路的外壁；以及 外侧主体部，其处于所述内侧主体部的外侧， 所述内侧主体部的孔隙率比所述外侧主体部的孔隙率低。
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