东京毅力科创株式会社绪方信博获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111150556.5，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权基板处理装置是由绪方信博;樱井宏纪;后藤大辅;古贺贵广;森宽太;桥本佑介设计研发完成，并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置。提供一种能够在液处理中提升去除对象物的去除效率的技术。本公开的基板处理装置具有流体供给部、处理液供给部以及喷嘴。流体供给部供给包含经过了加压的纯水的蒸汽或水雾的流体。处理液供给部供给至少包含硫酸的处理液。喷嘴具有第1喷出口、第2喷出口以及导出路径。第1喷出口喷出自流体供给部供给的流体。第2喷出口喷出自处理液供给部供给的处理液。导出路径与第1喷出口以及第2喷出口连通，导出自第1喷出口喷出的流体和自第2喷出口喷出的处理液的混合流体。另外，导出路径的截面面积比第1喷出口的截面面积大。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置具有： 基板保持部，其以能够使基板旋转的方式保持该基板； 流体供给部，其供给包含经过了加压的纯水的蒸汽或水雾的流体； 处理液供给部，其供给至少包含硫酸的处理液；以及 喷嘴，其与所述流体供给部以及所述处理液供给部连接，将所述流体和所述处理液混合而向所述基板喷出， 所述喷嘴具有： 第1喷出口，其喷出自所述流体供给部供给的所述流体； 第2喷出口，其喷出自所述处理液供给部供给的所述处理液；以及 导出路径，其与所述第1喷出口以及所述第2喷出口连通，导出自所述第1喷出口喷出的所述流体和自所述第2喷出口喷出的所述处理液的混合流体， 所述导出路径的截面面积比所述第1喷出口的截面面积大， 其中，所述导出路径在下端具有多个喷射口， 所述喷射口的截面面积比所述导出路径的截面面积小。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励