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龙图腾网获悉三星电子株式会社申请的专利半导体制造装置及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113777889B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110284405.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权半导体制造装置及其操作方法是由金度亨;洪成哲;金仁晟;朴珍洪;李贞彻设计研发完成，并于2021-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体制造装置及其操作方法在说明书摘要公布了：公开了半导体制造装置及其操作方法。半导体制造装置包括振荡单元和极紫外生成单元，振荡单元包括第一种子激光器、第二种子激光器和种子模块，其中，第一种子激光器使第一脉冲振荡，并且其中，第二种子激光器使第二脉冲振荡，并且极紫外生成单元被配置为使用第一脉冲和第二脉冲生成极紫外光。种子模块包括多个反射镜以及脉冲控制光学系统，多个反射镜被配置为使第一脉冲和第二脉冲分别沿着第一路径和第二路径行进，并且脉冲控制光学系统包括第一光学元件、第二光学元件和第三光学元件。脉冲控制光学系统在不与第一路径重叠的第二路径上。第三光学元件包括第一光学元件与第二光学元件之间的透镜。

本发明授权半导体制造装置及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造装置，包括： 振荡单元，包括第一种子激光器、第二种子激光器和种子模块，其中，所述第一种子激光器被配置为使第一脉冲振荡，并且其中，所述第二种子激光器被配置为使第二脉冲振荡；以及 极紫外生成单元，被配置为使用所述第一脉冲和所述第二脉冲生成极紫外光， 其中，所述种子模块包括： 多个反射镜，被配置为使所述第一脉冲和所述第二脉冲分别沿第一路径和第二路径行进；以及 脉冲控制光学系统，包括第一光学元件、第二光学元件和第三光学元件， 其中，所述脉冲控制光学系统在所述第二路径中的不与所述第一路径重叠的部分上， 其中，所述第三光学元件包括所述第一光学元件与所述第二光学元件之间的透镜， 其中，所述第二脉冲包括输入到所述脉冲控制光学系统的输入脉冲以及从所述脉冲控制光学系统输出的输出脉冲， 其中，所述输入脉冲IP从所述第二光学元件行进到所述第一光学元件， 其中，所述输出脉冲OP从所述第一光学元件行进到所述第二光学元件，并且 其中，所述脉冲控制光学系统被配置为使所述输出脉冲相对于所述输入脉冲移位。

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