株式会社迪思科关家一马获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利加工装置的管理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113594061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110458330.5,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权加工装置的管理方法是由关家一马设计研发完成,并于2021-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本加工装置的管理方法在说明书摘要公布了:本发明提供加工装置的管理方法,自动地实施从图案与新的加工条件的关联至晶片的加工。加工装置具有:卡盘工作台,其对晶片进行保持;加工单元,其对晶片进行磨削;搬送单元,其将晶片从盒中搬出并向卡盘工作台搬送;照相机单元,其对晶片进行拍摄而取得映现形成于晶片的正面侧的图案的图像;和信息登记部,该方法是将图案与加工条件关联而登记在信息登记部中时的管理方法,具有如下的步骤:加工条件登记步骤,将加工条件登记在信息登记部中;自动加工程序开始步骤,使对晶片进行自动加工的自动加工程序开始;拍摄步骤,利用照相机单元形成映现晶片的图案的图像;和图案登记步骤,将映现在图像中的图案与加工条件关联而登记在信息登记部中。
本发明授权加工装置的管理方法在权利要求书中公布了:1.一种加工装置的管理方法, 该加工装置具有: 卡盘工作台,其在上表面具有保持面,对正面与该保持面相对的晶片进行保持; 加工单元,其对该卡盘工作台所保持的晶片从背面侧进行磨削或研磨; 搬送单元,其从供收纳晶片的盒载置的盒载置区域所载置的该盒中将该晶片搬出,并将该晶片向该卡盘工作台搬送; 照相机单元,其对该晶片进行拍摄而取得图像,该图像中映现了形成于晶片的该正面侧的图案; 信息登记部,其将映现在该图像中的该图案与利用该加工单元对该晶片进行加工时的加工条件关联而进行登记;以及 判定部,其通过对从该盒中搬出的加工前的晶片检测与该加工条件关联而登记在该信息登记部中的该图案,判定为该加工前的晶片是作为加工对象的晶片, 该加工装置的管理方法是在该加工装置中将该图案与该加工条件关联而登记在该信息登记部中时的管理方法, 其特征在于, 该加工装置的管理方法具有如下的步骤: 加工条件登记步骤,将对此前没有利用该加工装置进行加工的新类别的晶片进行加工时的加工条件登记在该信息登记部中; 自动加工程序开始步骤,使该加工装置开始自动加工程序,该自动加工程序使该加工装置实施如下的自动加工:在将收纳有该新类别的晶片的盒载置于该盒载置区域之后,利用该搬送单元将该新类别的晶片从该盒中搬送到该卡盘工作台上,按照通过该加工条件登记步骤而登记的该加工条件利用该加工单元进行加工,并利用该搬送单元从该卡盘工作台搬出; 拍摄步骤,在该搬送单元根据该自动加工程序将该新类别的晶片从该盒中搬送到该卡盘工作台上并且由该卡盘工作台对该新类别的晶片进行保持的过程中,利用该照相机单元形成映现该新类别的晶片的该图案的图像;以及 图案登记步骤,将映现在通过该拍摄步骤而形成的该图像中的该图案与通过该加工条件登记步骤而登记的新的该加工条件关联而登记在该信息登记部中, 在根据该自动加工程序实施的自动加工的过程中,实施该拍摄步骤和该图案登记步骤。
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