ASM IP私人控股有限公司J.黄获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利固体源前体容器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113564566B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110473042.7，技术领域涉及：C23C16/54；该发明授权固体源前体容器是由J.黄;A.金蒂;S.比亚尼;J.R.巴基;E.J.希罗设计研发完成，并于2021-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本固体源前体容器在说明书摘要公布了：本公开总体上涉及一种固体源前体输送系统。更具体地，本公开涉及一种固体源前体容器，其可用于汽化储存在容器内的固体前体的供应。公开的源容器利用容器的内部内的多个单独的腔或凹穴。每个单独的凹穴可装载有前体。在一布置中，凹穴可装载有压缩的前体材料的预成型块，其密度通常高于在将固体前体填充在源容器内时先前实现的密度。固体前体材料的增加的密度增加了源容器的容量，导致更换和或重新填充源容器之间的间隔更长。
本发明授权固体源前体容器在权利要求书中公布了：1.一种反应物源容器，包括： 容器主体，其具有限定容器主体的内部区域的外侧壁和底表面； 设置在容器主体的内部区域内的多个凹穴，所述多个凹穴中的每个构造成容纳一定体积的固体源前体； 盖，其构造成与容器主体接合，所述盖在连接到容器主体时封闭容器主体的内部区域； 在容器主体的内部区域内的流体流动路径，所述流体流动路径形成在多个凹穴上方且在盖的底表面下方，所述流体流动路径沿着穿过多个凹穴中的每个的至少一部分的路径在入口端和出口端之间延伸；以及 插入件，其构造成设置在所述容器主体的内部区域内，其中，所述多个凹穴形成在插入件内， 其中，所述多个凹穴中的每个包括： 封闭的底端； 敞开的上端；以及 在封闭的底端和敞开的上端之间延伸的至少一个侧壁表面，其中，封闭的底端、敞开的上端和至少一个侧壁表面限定凹穴的内部体积； 其中，侧壁中的两个为整个高度使得他们在组装时将盖与源容器接触，而另外两个侧壁具有低的高度，以限定穿过凹穴的上表面的流动路径， 其中，所述流动路径是蛇形路径，并且当载气在流动路径入口端和流动路径出口端之间通过时，载气在所述多个凹穴中的每个凹穴的顶表面上被引导。
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