原子能和替代能源委员会卡罗尔·佩内尔获国家专利权
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龙图腾网获悉原子能和替代能源委员会申请的专利弛豫GAN/INGAN结构及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113013304B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011489674.4,技术领域涉及:H10H20/825;该发明授权弛豫GAN/INGAN结构及其制造方法是由卡罗尔·佩内尔;阿梅莉·迪赛涅设计研发完成,并于2020-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本弛豫GAN/INGAN结构及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种弛豫GaNInGaN结构及其制造方法,包括以下步骤:a提供一种装置,包括:GaNInGaN结构,其包括局部覆盖有InGaN台面100的导电掺杂的GaN层204,InGaN台面包括掺杂的InGaN层101和未掺杂或弱掺杂的InGaN层102,在InGaN台面100之间覆盖导电掺杂的GaN层204的电绝缘层300;b将导电掺杂的GaN层204和对电极500电连接到电压或电流发生器;c将装置和对电极500浸入电解液中;d在导电掺杂的GaN层204和第二电极500之间施加电压或电流,以使掺杂的InGaN层101孔隙化;e在InGaN台面100上外延形成InGaN层,从而获得弛豫的外延生长的InGaN层400。
本发明授权弛豫GAN/INGAN结构及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种用于制造至少部分弛豫的GaNInGaN结构的方法,包括以下步骤: a提供一种装置,包括: GaNInGaN结构,其包括局部覆盖有InGaN台面100的导电掺杂的GaN层204,所述InGaN台面100包括掺杂的InGaN层101和位于所述掺杂的InGaN层101之上的未掺杂或弱掺杂的InGaN层102, 在所述InGaN台面100之间覆盖所述导电掺杂的GaN层204的电绝缘层300; b将所述装置的所述导电掺杂的GaN层204和对电极500电连接到电压发生器或电流发生器; c将所述装置和所述对电极500浸入到电解液中; d在所述导电掺杂的GaN层204和第二电极500之间施加电压或电流,以使所述InGaN台面100的掺杂的InGaN层101孔隙化; e在所述InGaN台面100上通过外延形成InGaN层,从而获得弛豫的外延生长的InGaN层400。
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