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浙江创芯集成电路有限公司郜茂杰获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利用于吸附翘曲晶圆的机械臂获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224178588U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521183121.4,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型用于吸附翘曲晶圆的机械臂是由郜茂杰设计研发完成,并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。

用于吸附翘曲晶圆的机械臂在说明书摘要公布了:本公开实施例提供了一种用于吸附翘曲晶圆的机械臂,包括:手部结构;多个真空吸盘,均匀分布于所述手部结构上;所述真空吸盘包括支撑部和吸附部;所述支撑部的中心具有通孔,用于抽取所述真空吸盘和晶圆之间的气体;所述吸附部围绕所述支撑部设置,且所述吸附部的材质为柔性陶瓷;其中,所述吸附部多圈凸起,最外圈凸起为一圆环状连续凸起,中间圈凸起和或内圈凸起为非连续凸起,且相邻凸起之间的凹陷与所述通孔连通,且所述吸附部的部分或全部所述凸起相对于所述手部结构表面的第一高度差,大于所述支撑部相对于所述手部结构的第二高度差。采用上述技术方案,可以提高对翘曲晶圆的吸附能力。

本实用新型用于吸附翘曲晶圆的机械臂在权利要求书中公布了:1.一种用于吸附翘曲晶圆的机械臂,其特征在于,包括: 手部结构; 多个真空吸盘,均匀分布于所述手部结构上; 所述真空吸盘包括支撑部和吸附部; 所述支撑部的中心具有通孔,用于抽取所述真空吸盘和晶圆之间的气体; 所述吸附部围绕所述支撑部设置,且所述吸附部的材质为柔性陶瓷; 其中,所述吸附部包括多圈凸起,最外圈凸起为一圆环状连续凸起,内圈凸起为非连续凸起,且相邻凸起之间的凹陷与所述通孔连通,且所述吸附部的部分或全部所述凸起相对于所述手部结构表面的第一高度差,大于所述支撑部相对于所述手部结构的第二高度差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司,其通讯地址为:311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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