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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224173893U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520976124.7，技术领域涉及：E05C1/08；该实用新型一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构是由阚宇迪;刘健;郭生华;龚明;杨佳雨设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备配件技术领域，具体地说是一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构，包括弹性锁杆组件，弹性锁杆组件设置于晶圆盒转接器上。弹性锁杆组件包括锁杆及弹性件，锁杆的一端位于靠近晶圆盒转接器前门的一侧，锁杆的另一端位于远离晶圆盒转接器前门的一侧、且位于靠近晶圆装载系统门板外侧的晶圆装载系统背板处，弹性件设置于锁杆的外周。本实用新型通过弹性锁杆组件的设置，可在设备工作时，通过纯机械结构自动将晶圆盒转接器的前门锁定，有效避免此时被误开，进而有效确保设备洁净度和安全性，完成工作后也能自动解锁前门，且无需使用电动以及气动结构，不受断电影响，使用更为可靠，结构相对简单，设置成本相对也较低。

本实用新型一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆盒转接器前门机械锁定结构，其特征在于：包括弹性锁杆组件，所述弹性锁杆组件设置于晶圆盒转接器002上； 所述弹性锁杆组件包括锁杆1及弹性件2，所述锁杆1的一端位于靠近晶圆盒转接器前门003的一侧，所述锁杆1的另一端位于远离晶圆盒转接器前门003的一侧、且位于靠近晶圆装载系统门板0013外侧的晶圆装载系统背板0012处，所述弹性件2设置于所述锁杆1的外周； 晶圆盒转接器前门003上直接开设有与所述锁杆1的一端配合使用的锁定孔301，或晶圆盒转接器前门003上设置有锁定块3、并在该所述锁定块3上开设有与所述锁杆1的一端配合使用的锁定孔301； 晶圆盒转接器002在向靠近晶圆装载系统门板0013方向移动时，所述锁杆1向远离晶圆装载系统门板0013方向移动，并能够使锁杆1的一端插入至配合使用的锁定孔301中，进而实现晶圆盒转接器前门003的锁定，此时所述弹性件2形成被压缩状态；晶圆盒转接器002在向远离晶圆装载系统门板0013方向移动时，所述锁杆1在所述弹性件2的复原弹力作用下向靠近晶圆装载系统门板0013方向移动、并脱离配合使用的锁定孔301，进而实现晶圆盒转接器前门003的解锁。

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