学校法人关西学院;东洋铝株式会社;丰田通商株式会社金子忠昭获国家专利权
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龙图腾网获悉学校法人关西学院;东洋铝株式会社;丰田通商株式会社申请的专利氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和抑制在氮化铝层中产生裂纹的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115443353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180028189.3,技术领域涉及:C30B29/38;该发明授权氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和抑制在氮化铝层中产生裂纹的方法是由金子忠昭;堂岛大地;村川拓;松原萌子;西尾佳高设计研发完成,并于2021-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和抑制在氮化铝层中产生裂纹的方法在说明书摘要公布了:本发明要解决的问题在于提供一种能够抑制在AlN层中产生裂纹的新颖技术。本发明是一种AlN衬底的制造方法,包括:降低SiC基底衬底10的强度的脆加工步骤S10;和在SiC基底衬底10上形成AlN层20的晶体生长步骤S20。此外,本发明是一种抑制在AlN层20中产生裂纹的方法,包括:在SiC基底衬底10上形成AlN层20之前降低SiC基底衬底10的强度的脆加工步骤S10。
本发明授权氮化铝衬底的制造方法、氮化铝衬底和抑制在氮化铝层中产生裂纹的方法在权利要求书中公布了:1.一种氮化铝衬底的制造方法,包括: 降低碳化硅基底衬底的强度的脆加工步骤;和 在所述碳化硅基底衬底上形成氮化铝层的晶体生长步骤; 所述脆加工步骤具有:在所述碳化硅基底衬底上形成贯通孔的贯通孔形成步骤, 所述贯通孔形成步骤是去除有效面积的50%以上的步骤,所述有效面积是在所述晶体生长步骤中所述氮化铝层的原料附着的所述碳化硅基底衬底的表面的面积。
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