诺思(天津)微系统有限责任公司庞慰获国家专利权
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龙图腾网获悉诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利带声学解耦层的体声波谐振器组件、滤波器及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114070249B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010785148.6,技术领域涉及:H03H9/17;该发明授权带声学解耦层的体声波谐振器组件、滤波器及电子设备是由庞慰;张巍;张孟伦设计研发完成,并于2020-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本带声学解耦层的体声波谐振器组件、滤波器及电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种体声波谐振器组件,包括:基底;至少两个谐振器,所述至少两个谐振器为体声波谐振器且在基底的一侧在基底的厚度方向上叠置,所述至少两个谐振器包括第一谐振器和第二谐振器,第二谐振器在第一谐振器的上方,第一谐振器具有第一顶电极、第一压电层、第一底电极和第一声学镜,第二谐振器具有第二顶电极、第二压电层、第二底电极和第二声学镜。第一顶电极与第二底电极之间设置有空腔形式的声学解耦层,所述声学解耦层作为所述第二声学镜;所述空腔的边界在水平方向上处于第一底电极的非电极连接端的外侧;且所述空腔的边界在水平方向上处于第二顶电极的非电极连接端的外侧。本发明还涉及一种滤波器以及一种电子设备。
本发明授权带声学解耦层的体声波谐振器组件、滤波器及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器组件,包括: 基底; 至少两个谐振器,所述至少两个谐振器为体声波谐振器且在基底的一侧在基底的厚度方向上叠置,所述至少两个谐振器包括第一谐振器和第二谐振器,第二谐振器在第一谐振器的上方,第一谐振器具有第一顶电极、第一压电层、第一底电极和第一声学镜,第二谐振器具有第二顶电极、第二压电层、第二底电极和第二声学镜, 其中: 第一顶电极与第二底电极之间设置有空腔形式的声学解耦层,所述声学解耦层作为所述第二声学镜; 所述空腔的边界在水平方向上处于第一底电极的非电极连接端的外侧;且 所述空腔的边界在水平方向上处于第二顶电极的非电极连接端的外侧; 所述空腔基于所述第二底电极在厚度方向上的支撑形成; 所述第一底电极在水平方向上处于第一声学镜的边界与所述空腔的边界之间的部分,与第一压电层以及第一顶电极形成三明治第一结构,所述三明治第一结构的外边缘与所述第一声学镜的边界在水平方向上具有第三距离。
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