东京毅力科创株式会社高桥雅典获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利载置台和基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113496937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110291189.4，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权载置台和基板处理装置是由高桥雅典;江崎匠大设计研发完成，并于2021-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本载置台和基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供载置台和基板处理装置。抑制基板的处理中的环境控制的精度的降低。载置台包括载置部、基台、电路板、温度调整部。载置部用于载置基板。基台配置于载置部下，在内部形成有空间。电路板配置于基台的空间内，搭载有电子电路。温度调整部对电路板的温度进行调整。
本发明授权载置台和基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种载置台，其中， 该载置台包括： 载置部，其用于载置基板； 基台，其配置于所述载置部下，在内部形成有空间； 电路板，其配置于所述空间内，搭载有电子电路；以及 温度调整部，其配置于所述空间内，对所述电路板的温度进行调整， 所述温度调整部具有： 第1绝热构件；以及 第1加热器，其配置于所述电路板的上方，并且配置于所述第1绝热构件与所述电路板之间， 所述温度调整部还具有： 第2绝热构件；以及 第2加热器，其配置于所述电路板的下方，并且配置于所述第2绝热构件与所述电路板之间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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