上海集迦电子科技有限公司王秋瑾获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种用于非接触式温度测量的系统及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121604764B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610125115.6，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种用于非接触式温度测量的系统及测量方法是由王秋瑾;夏子奂设计研发完成，并于2026-01-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于非接触式温度测量的系统及测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种用于非接触式温度测量的系统，包括一个传输机械手；至少还包括一个测量晶圆，所述测量晶圆包括：一个晶圆状基板，所述基板上设置第一温度传感器，还至少设置一个光学温度传感器、一个电池及一个耦合到无线通信单元的处理器；以及一个系统控制单元，被配置为执行非接触式温度测量操作；在工作状态下所述传输机械手将所述测量晶圆定位在距一个加热表面预定距离处以便对所述加热表面执行非接触式温度测量。还提供对应的测量方法。本发明能够快速、可重复且准确地测量半导体制程工艺腔体中的高温表面，其可以实现在准确测温的情况下适应腔体高温环境、测量晶圆的使用寿命可以显著被提高、适应的腔体温度范围也显著提高。
本发明授权一种用于非接触式温度测量的系统及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种用于非接触式温度测量的系统，包括： 一个传输机械手； 其特征在于，至少还包括一个测量晶圆，所述测量晶圆包括：一个晶圆状基板，所述基板上设置第一温度传感器，还至少设置一个光学温度传感器、一个电池及一个耦合到无线通信单元的处理器；以及 一个系统控制单元，被配置为执行非接触式温度测量操作； 在工作状态下所述传输机械手将所述测量晶圆定位在距一个加热表面预定距离处以便对所述加热表面执行非接触式温度测量。
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