上海车仪田科技有限公司张南南获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121476188B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610024423.X，技术领域涉及：G01N21/84；该发明授权基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法及系统是由张南南;张黎明;云燕午;任聪群设计研发完成，并于2026-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法及系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法及系统，刻蚀终点检测方法包括将光源发出的红外光照射至吸收池，以输出吸收目标气体后的检测光线；控制滤波器对检测光线进行波长扫描，识别至少一个具有吸收峰的特征波长点；设定滤波器的固定工作频率，使滤波器允许通过特征波长点的检测光线；对特征波长点的检测光线进行扫描，得到包含干扰的第一光强向量；标定滤波器的旁瓣响应函数矩阵S；根据旁瓣响应函数矩阵S对第一光强向量进行计算，获取消除干扰的第二光强向量；根据第二光强向量计算目标气体的特征浓度c，并进行刻蚀终点判断。本发明能够提升刻蚀终点判断的准确程度。
本发明授权基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于滤波扫描的刻蚀终点检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 将光源发出的红外光照射至吸收池，以输出吸收目标气体后的检测光线； 控制滤波器对所述检测光线进行波长扫描，识别至少一个具有吸收峰的特征波长点； 设定所述滤波器的固定工作频率，使所述滤波器允许通过所述特征波长点的所述检测光线； 对所述特征波长点的所述检测光线进行扫描，得到包含干扰的第一光强向量； 控制所述滤波器的主通道的中心对准对应的所述特征波长点； 使用单色光源依次输出对应的所述特征波长点及相邻波长，获取所述特征波长点及所述相邻波长所对应的衍射光强； 对所述衍射光强进行归一化处理，获取所述特征波长点的旁瓣响应向量； 集合所述旁瓣响应向量形成旁瓣响应函数矩阵S； 根据所述旁瓣响应函数矩阵S对所述第一光强向量进行计算，获取消除干扰的第二光强向量； 根据所述第二光强向量计算所述目标气体的特征浓度c，并进行刻蚀终点判断。
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