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广东省智能科学与技术研究院林士峰获国家专利权

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龙图腾网获悉广东省智能科学与技术研究院申请的专利喷雾冷却系统和冷却方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120998898B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511501304.0,技术领域涉及:H10W40/73;该发明授权喷雾冷却系统和冷却方法是由林士峰;周睿;张旭;姚元鹏;冯盛森;李洁;陈鑫设计研发完成,并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

喷雾冷却系统和冷却方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种喷雾冷却系统,并公开了一种适用于喷雾冷却系统的冷却方法,喷雾冷却系统的储液箱、第一抽吸泵、喷雾室、分液器和冷凝器依次连接并形成冷却回路,冷却液在冷却回路内循环流动,喷雾室的内腔用于设置半导体器件,喷雾室连接有真空泵,真空泵用于维持喷雾室内的气压低于大气压,以使喷在半导体器件上的冷却液以低于冷却液处于大气压的沸点蒸发,汽态的冷却液通过输汽排进冷凝器。在同等冷却要求下,通过真空泵降低喷雾室内的气压,提高冷却液的吸热能力和吸热效率,可以降低第一抽吸泵和冷凝器的运行功率,进而实现降低能耗。

本发明授权喷雾冷却系统和冷却方法在权利要求书中公布了:1.喷雾冷却系统,其特征在于,包括: 储液箱,用于存储冷却液; 喷雾室,内腔用于设置半导体器件,半导体器件连接有第一温度传感器,第一温度传感器用于实时检测半导体器件的温度,喷雾室内设有第一压力传感器,第一压力传感器用于检测喷雾室内的气压大小; 分液器,包括分液进口和多个分液出口,所述储液箱通过送液管与所述分液进口连接,多个所述分液出口分别连接有多个伸进所述喷雾室内的喷雾嘴,多个所述喷雾嘴呈阵列分布且喷雾方向朝向所述半导体器件,所述送液管上设有第一抽吸泵、流量计和第二温度传感器,流量计用于测量进入喷雾室内的冷却液的流量,第二温度传感器用于实时检测进入喷雾室内的冷却液的温度; 冷凝器,包括冷却液进口和冷却液出口,所述冷却液出口通过第一回液管与所述储液箱连接; 第二回液管,一端连接所述喷雾室的底部,所述第二回液管的另一端连接所述冷却液进口,以将所述喷雾室内液态的冷却液输送进所述冷凝器; 输汽管,一端连接所述喷雾室的顶部,所述输汽管的另一端连接所述冷却液进口,以将所述喷雾室内汽化为汽态的冷却液输送进所述冷凝器; 气压调节支路,包括抽气管和真空泵,所述抽气管的两端分别与所述喷雾室连接和所述真空泵的抽气端连接,所述真空泵的排气端与大气连通,所述抽气管上沿所述喷雾室至所述真空泵方向依次设有第一控制阀和水汽分离器,所述第一控制阀能够关闭所述抽气管以阻止外界的空气倒流进所述喷雾室,所述真空泵和所述第一控制阀用于维持所述喷雾室内的气压低于大气压,以使喷在所述半导体器件上的冷却液以低于所述冷却液处于大气压的沸点蒸发,所述水汽分离器的排水口通过第三回液管与所述冷却液进口连接,且所述排水口内设有疏水阀,以使所述真空泵抽吸到所述水汽分离器的所述冷却液回流到所述冷凝器; 根据流量计反馈回的进入喷雾室的冷却液的流量大小控制第一抽吸泵的运行功率,以调节喷在半导体器件的冷却液的流量,根据第一温度传感器反馈回的半导体器件的温度和第二温度传感器反馈回的冷却液的温度控制冷凝器的运行功率,以调节喷在半导体器件上的冷却液的温度,进而调整喷在半导体器件上的冷却液与半导体器件之间的温差,根据第一压力传感器反馈回的喷雾室内的气压大小控制真空泵的运行,以降低喷雾室内的气压,使得喷雾室内的气压处于预设气压值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人广东省智能科学与技术研究院,其通讯地址为:519000 广东省珠海市横琴新区环岛北路2515号6号楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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