无锡市安晏克半导体有限公司周明获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡市安晏克半导体有限公司申请的专利一种半导体清洗设备用机械手获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119965119B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411915096.4,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种半导体清洗设备用机械手是由周明设计研发完成,并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体清洗设备用机械手在说明书摘要公布了:本发明属于半导体加工技术领域,具体的说是一种半导体清洗设备用机械手,包括转接部件,所述转接部件的下方设置有清洗部件,所述清洗部件的底部设置有回流部件,所述转接部件包括分段连板,所述分段连板上表面的中部固定连接有注水箱,所述注水箱内腔的底部均匀固定有输水管。该装置能够通过转接部件将单片晶圆片顺序布置在外保护壳的内部,然后通过合并后的对接部件与排水部件将所有晶圆片独立限制在较小的区域中,通过输水管进行统一清洗工作,由于此时的晶圆片不受夹持作用影响,所以其外表面能够完全被清理而不会出现死角,限位区域可以保证晶圆在受到强冲击力后不会不断撞击花篮的内壁,进而避免损伤问题。
本发明授权一种半导体清洗设备用机械手在权利要求书中公布了:1.一种半导体清洗设备用机械手,包括转接部件1,所述转接部件1的下方设置有清洗部件2,所述清洗部件2的底部设置有回流部件3,其特征在于: 所述转接部件1包括分段连板11,所述分段连板11上表面的中部固定连接有注水箱12,所述注水箱12内腔的底部均匀固定有输水管15,所述分段连板11上表面的左右两侧对称设置有刻度滑筒13,所述刻度滑筒13内壁的轴心处滑动连接有引导支撑杆14; 所述分段连板11的左右两侧均转动连接有转接臂17,所述转接臂17的底端转动连接有推进滑筒18,所述推进滑筒18的轴心处滑动连接有元晶吸盘19,所述注水箱12内腔的背部均匀固定连接有引流管16; 所述清洗部件2包括外保护壳21,所述外保护壳21的内壁均匀设置有引导滑杆22,所述外保护壳21内壁的顶部均匀设置有对接部件4,所述外保护壳21内壁的底部均匀设置有排水部件5。
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