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龙图腾网获悉君原电子科技(海宁)有限公司申请的专利一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119943736B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411906764.7，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法是由李君;李海南;石锗元;洪元杓;陈振宁;肖伟设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法，属于静电卡盘技术领域，内置加热器制作及其调阻方法包括以下步骤：S1：根据加热器目标电阻值，结合公式如下公式进行设计：R＝ρ×LW×D式中：L为加热器长度、W为加热器宽度、D为加热器厚度、ρ加热器电极浆料电阻率；S2：将设计值转化为设计图；S3：将金属粉料、粘结剂、无机添加粉体、分散剂，有机溶剂加入搅拌机中混合均匀，然后轧压分散，制作出细度小于10um，粘度50000～400000cps的金属电极浆料，通过不同比例无机粉体的添加，最终可以制作出电阻率1×10‑6～1×10‑4Ω.cm的加热器电极浆料；S4：将加热器设计图转化为丝网印刷网版图纸。

本发明授权一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘的内置加热器陶瓷盘的制备方法，其特征在于，包括： S1：制备陶瓷浆料，然后将陶瓷浆料通过流延工艺成型的方式制作出陶瓷生坯片，其中，陶瓷生坯片的厚度为200～800um，单张陶瓷生坯片厚度极差在±20um以内，陶瓷浆料中的陶瓷材料为Al2O3、AlN、SiC、Si3N4材料中的任意一种； S2：采用机械加工的方式将陶瓷生坯片加工出定位孔、互联导通孔、吸附电极孔，加热电极孔； S3：将一定份量金属粉料加入搅拌机，然后加入粘结剂、无机添加粉体、分散剂、有机溶剂，其中，金属粉料为W、Mo、Mn、Ag、Pd、Pt金属材料中的任意一种，按照比例在搅拌机中混合均匀，搅拌均匀后采用三辊机进行轧压分散，分别制作出细度小于10um，且粘度为50000～300000cps的吸附电极浆料、加热电极浆料、并联电极金属浆料； S4：采用填孔的方式在陶瓷生坯片的互联导通孔中填入金属导通浆料，采用丝网印刷的方式分别制作出吸附电极层、加热电极层、并联电极层、互联导通Pad，吸附电极层、加热电极层、并联电极层的厚度为5～20um； S5：将介电层、吸附电极层、加热电极层、并联电极层、互联导通Pad以及加工有吸附电极孔和加热电极孔的生坯，按照产品构造顺序，采用定位孔定位，使用叠层机通过定位叠层的方式，叠压在一起，叠压时，压力为20T～500T，温度使用30℃～90℃，时间为1min～20min，从而制作出加热器内置于陶瓷盘内部的生坯陶瓷盘； S6：将叠压完成生坯陶瓷盘放置于脱脂炉中，在空气或者氮气气氛下，用300～550℃的温度进行脱脂排胶，最高温度保温20h～120h，将生坯陶瓷盘中有机体排除干净； S7：将脱脂排胶完成的陶瓷盘放置于高温烧结炉中，在N2、H2、Ar中任意一种或两种及两种以上保护气氛下，在1300～1800℃的温度下，最高温度保温0.5～10h进行高温烧结成瓷，完成内置加热器陶瓷盘的制作。

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