ASML荷兰有限公司王勇新获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于高性能检测设备技术领域的增强架构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115917700B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180039316.X,技术领域涉及:H01J37/244;该发明授权用于高性能检测设备技术领域的增强架构是由王勇新;M·奥伯斯特;H·G·H·纽鲍尔;T·施魏格尔设计研发完成,并于2021-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于高性能检测设备技术领域的增强架构在说明书摘要公布了:一种检测器包括:多个感测元件;区段电路系统,将第一感测元件集通信地耦合到第一信号处理电路系统的输入;以及开关网络,对感测元件集进行连接。元件间开关可以对相邻的感测元件包括在对角线方向上的感测元件进行连接。输出总线可以通过开关元件连接到第一集中的每个感测元件。可以在一个感测元件处布置有公共输出拾取点,该公共输出被配置为输出来自第一集的信号。提出了各种开关和布线方案。例如,公共输出可以直接连接到开关网络。可以在输出总线与第一信号处理电路系统之间提供开关。可以在开关网络与第一信号处理电路系统之间提供开关。
本发明授权用于高性能检测设备技术领域的增强架构在权利要求书中公布了:1.一种检测器,包括: 感测元件集,包括第一公共输出; 元件间开关元件,被配置为将所述感测元件集中的相邻感测元件通信地耦合; 输出总线,被配置为通信地耦合到所述感测元件集中的每个感测元件; 接点,被配置为:经由第一开关元件通信地耦合到所述第一公共输出,并且经由第二开关元件通信地耦合到所述输出总线;以及 开关网络,被布置在所述第一公共输出与所述第一开关元件之间,所述开关网络包括集间开关元件,所述集间开关元件被配置为将所述第一公共输出通信地耦合到另一感测元件集的第二公共输出。
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