ASML荷兰有限公司王勇新获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利用于高性能检测设备的增强架构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115485805B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180032292.5,技术领域涉及:H01J37/244;该发明授权用于高性能检测设备的增强架构是由王勇新设计研发完成,并于2021-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于高性能检测设备的增强架构在说明书摘要公布了:检测器包括:感测元件的集合;第一区段电路系统,其将感测元件的第一集合通信地耦合到第一信号处理电路系统的输入端;第二区段电路系统,其将感测元件的第二集合通信地耦合到第二信号处理电路系统的输入端;以及互连电路,其将该第一信号处理电路系统的输出端通信地耦合到该第二信号处理电路系统的输出端。该互连电路可以包括互连层,该互连层具有互连开关元件,该互连开关元件通信地耦合到该检测器的模拟信号路径的输出端。互连开关元件可以通信地耦合相邻模拟信号路径的该输出端。该检测器还可以包括信号处理电路系统,该信号处理电路系统包括多个转换器。该互连电路可以被配置为选择性地将该第一信号处理电路系统和第二信号处理电路系统的输出端耦合到该转换器。
本发明授权用于高性能检测设备的增强架构在权利要求书中公布了:1.一种检测器,包括: 感测元件的集合,包括感测元件的第一集合和感测元件的第二集合; 第一区段电路系统,被配置为将所述感测元件的第一集合通信地耦合到第一信号处理电路系统的输入端; 第二区段电路系统,被配置为将所述感测元件的第二集合通信地耦合到第二信号处理电路系统的输入端; 互连电路,被配置为将所述第一信号处理电路系统的输出端通信地耦合到所述第二信号处理电路系统的输出端;以及 第二开关元件,被配置为将所述第一信号处理电路系统的所述输出端通信地耦合到所述互连电路。
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