佳能特机株式会社河合慈获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114959564B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210175012.2，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权成膜装置是由河合慈;高桥宣之;富井广树;樱井克荣设计研发完成，并于2022-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本成膜装置在说明书摘要公布了：本发明提供提高基板的吸附度的测定精度的成膜装置。成膜装置具备：腔室，将内部保持为真空；吸附板，设置在腔室的内部，用于吸附基板；检测部件，在铅垂方向上配置在吸附板的下方，检测基板向吸附板的吸附的程度；以及移动部件，使检测部件在沿着基板的被成膜面的第一方向上移动。
本发明授权成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种成膜装置， 该成膜装置具备： 腔室，将内部保持为真空； 吸附板，设置在所述腔室的内部，用于吸附基板； 检测部件，配置在所述吸附板的铅垂方向的下侧，检测所述基板向所述吸附板的吸附的程度；以及 移动部件，使所述检测部件在沿着所述基板的被成膜面的第一方向上移动， 其特征在于， 该成膜装置还具备蒸发源，该蒸发源设置在所述腔室的内部，向所述基板放出蒸镀材料， 所述检测部件设置于所述蒸发源， 所述移动部件通过使所述蒸发源在所述第一方向上移动而使所述检测部件移动。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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