应用材料公司胡积玓获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于测量边缘环温度的方法和设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114787980B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080081335.4，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权用于测量边缘环温度的方法和设备是由胡积玓;沃尔夫冈·R·阿德霍尔德;姚东明设计研发完成，并于2020-10-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于测量边缘环温度的方法和设备在说明书摘要公布了：一种用于测量在处理腔室内部的组件的温度的设备。该设备可包括：光管，定位在灯辐射滤光窗与该组件之间，该光管具有带有斜面的第一端部并具有远离该第一端部的第二端部，该斜面被构造成将从该组件所发射的红外辐射重新导向穿过该光管；光学组件，被构造成对来自于该光管的第二端部的红外辐射进行准直、滤光及聚焦；光学探测器，被构造成接收来自该光学组件的输出并产生代表该红外辐射的至少一个信号；温度电路，将该至少一个信号变换为温度值；以及控制器，被构造成接收该温度值并基于该温度值对处理腔室的其他处理参数作出调整。
本发明授权用于测量边缘环温度的方法和设备在权利要求书中公布了：1.一种用于测量在处理腔室内部的组件的温度的设备，包括： 灯辐射滤光窗，被构造成定位在灯辐射源与所述组件之间，其中所述灯辐射滤光窗和所述灯辐射源在所述处理腔室内部； 光管，被构造成定位在所述处理腔室内部在所述灯辐射滤光窗与所述组件之间，所述光管具有带有斜面的第一端部并且具有远离所述第一端部的第二端部，所述斜面被构造成将从所述组件所发射的红外辐射重新导向穿过所述光管； 光学组件，被构造成对来自所述光管的所述第二端部的所述红外辐射进行准直、滤光及聚焦； 光学探测器，被构造成接收来自所述光学组件的输出并产生代表所述红外辐射的至少一个信号；以及 温度电路，将所述至少一个信号变换为温度值， 其中所述光学组件包括第一非球面聚光透镜、光学带通滤光器及第二非球面聚光透镜。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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