江苏芯势科技有限公司石雷获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯势科技有限公司申请的专利一种晶圆中心定位机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224154607U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520861101.1，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种晶圆中心定位机构是由石雷;王迪;魏洪涛;张峰设计研发完成，并于2025-05-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆中心定位机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆中心定位机构，晶圆中心定位机构上的至少三个卡爪在卡爪驱动组件的驱动下与晶圆边缘抵接，晶圆抵接部在运动过程中始终位于圆心位置固定的相同半径的圆周上，使得晶圆的中心位于预定位置上，以对机械臂转运过来的晶圆的中心位置进行校正。
本实用新型一种晶圆中心定位机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆中心定位机构，其特征在于：包括至少三个卡爪、支撑底板和卡爪驱动组件；在所述支撑底板上设有供转台通过的转台通道，所述至少三个卡爪绕转台通道的周向布置；所述卡爪驱动组件安装在支撑底板上，所述至少三个卡爪安装在卡爪驱动组件上，所述卡爪驱动组件驱动至少三个卡爪在与晶圆表面平行的平面内运动；所述至少三个卡爪包括晶圆支撑部和晶圆抵接部，所述晶圆抵接部在运动过程中始终位于圆心位置固定的相同半径的圆周上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯势科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市经济开发区震泽路688号太湖湾信息技术产业园B5栋1层、2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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