素珀电子科技(上海)有限公司常志勇获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利应用于晶圆装载系统的自适应隔离装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224154605U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520967940.1，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型应用于晶圆装载系统的自适应隔离装置是由常志勇;张贵东;侯双明;孟君燕设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本应用于晶圆装载系统的自适应隔离装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了应用于晶圆装载系统的自适应隔离装置，包括，框架；伸缩罩组件，安装在所述框架上且包括至少两级相互套接的伸缩罩体；滑动导向件，包括固定于最外层伸缩罩体的导杆组件及设置于相邻内层伸缩罩体的导向配合件；所述导杆组件与所述导向配合件滑动连接；限位密封件，设置于各层级所述伸缩罩体的接合处所述伸缩罩组件与所述框架形成有沿高度方向分布的动态隔离腔体，所述动态隔离腔体随最外层伸缩罩体的升降行程动态调整以包覆所述晶圆盒的传输路径。采用上述方案，避免晶圆盒在移动的过程中将晶圆盒裸露在外界造成晶圆表面污染，提高设备的洁净度。
本实用新型应用于晶圆装载系统的自适应隔离装置在权利要求书中公布了：1.应用于晶圆装载系统的自适应隔离装置，用于将暴露状态下的晶圆盒600与外部环境隔离，其特征在于，包括： 框架100，包括底板104以及与底板104在高度方向产生相对位移的平台板101； 伸缩罩组件200，安装在所述底板104与所述平台板101之间，包括至少两级相互套接的伸缩罩体； 滑动导向件300，包括固定于最外层的伸缩罩体的导杆组件及设置于相邻内层的伸缩罩体的导向配合件；所述导杆组件与所述导向配合件滑动连接； 限位密封件400，设置于各层级所述伸缩罩体的接合处，形成连续密封界面； 其中，最外层伸缩罩体移动时，相邻内层伸缩罩体在预定行程位置产生联动位移，所述伸缩罩组件200与所述框架100形成有沿高度方向分布的动态隔离腔体，所述动态隔离腔体随最外层伸缩罩体的升降行程变化动态调整以包覆所述晶圆盒600的升降路径。
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