丹东安顺微电子有限公司王研获国家专利权
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龙图腾网获悉丹东安顺微电子有限公司申请的专利一种光刻曝光布局定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224137615U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520735808.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻曝光布局定位装置是由王研;安麒;杨小正;王明德设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻曝光布局定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及光刻曝光技术领域，且公开了一种光刻曝光布局定位装置，解决了背景技术中所提出的问题，其包括芯片放置台，所述芯片放置台两侧设置有滑动组件，所述滑动组件上设置有光刻曝光元件，所述芯片放置台底部设置有流体冷却管道，所述流体冷却管道沿芯片放置台铺设，所述流体冷却管道具有输出端和输入端，所述输出端与输入端均与冷却箱相连接，所述冷却箱与输入端连接处设置有泵体，本实用新型，具有能够显著降低热变形对定位精度的影响，提高曝光过程的稳定性，减少因热变形导致的设备停机时间和维护成本，保持高精度定位的效果。
本实用新型一种光刻曝光布局定位装置在权利要求书中公布了：1.一种光刻曝光布局定位装置，包括芯片放置台1，其特征在于：所述芯片放置台1两侧设置有滑动组件2，所述滑动组件2上设置有光刻曝光元件3，所述芯片放置台1底部设置有流体冷却管道11，所述流体冷却管道11沿芯片放置台1铺设，所述流体冷却管道11具有输出端和输入端，所述输出端与输入端均与冷却箱12相连接，所述冷却箱12与输入端连接处设置有泵体13。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人丹东安顺微电子有限公司，其通讯地址为：118016 辽宁省丹东市沿江开发区房坝2号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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