无锡富创得精密设备有限公司刘孟飞获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡富创得精密设备有限公司申请的专利一种掩膜板暂存维护设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224136645U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520383866.9,技术领域涉及:G01D21/02;该实用新型一种掩膜板暂存维护设备是由刘孟飞;郑青斌;宁坚;茅茂;曹金星;弓利军设计研发完成,并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜板暂存维护设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及掩膜板加工设备技术领域,尤其是指一种掩膜板暂存维护设备,包括用于对掩膜板本体进行恒温处理的恒温冷却装置、用于抓取或放置掩膜板本体的机械手、用于存储掩膜板本体并实时检测每一个掩膜板本体温度的暂存机构及用于对掩膜板本体进行薄膜检测的检测装置,所述机械手在将掩膜板本体放置于暂存机构时,将掩膜板本体标记为第一工序、第二工序或者第三工序;机械手先识别处于第一工序、第二工序或者第三工序的掩膜板本体,然后再抓取对应的掩膜板本体;本发明便于准确转移掩膜板本体,使得掩膜板本体在薄膜检测时能够保持稳定的精度,有效降低对掩膜板本体在薄膜检测时的影响,提升检测准确性和可靠性。
本实用新型一种掩膜板暂存维护设备在权利要求书中公布了:1.一种掩膜板暂存维护设备,其特征在于,包括用于对掩膜板本体01进行恒温处理的恒温冷却装置010、用于抓取或放置掩膜板本体01的机械手020、用于存储掩膜板本体01并实时检测每一个掩膜板本体01温度的暂存机构030及用于对掩膜板本体01进行薄膜检测的检测装置040,所述机械手020在将掩膜板本体01放置于暂存机构030时,将掩膜板本体01标记为第一工序、第二工序或者第三工序;机械手020先识别处于第一工序、第二工序或者第三工序的掩膜板本体01,然后再抓取对应的掩膜板本体01。
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