山东大学姚勇平获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种基于匀化光纤的双平顶光束金刚石抛光装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121715701B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610219603.3，技术领域涉及：B23K26/352；该发明授权一种基于匀化光纤的双平顶光束金刚石抛光装置及方法是由姚勇平;孙云辉;张百涛;聂鸿坤;李佳桐;姚波;夏金宝设计研发完成，并于2026-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于匀化光纤的双平顶光束金刚石抛光装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种基于匀化光纤的双平顶光束金刚石抛光装置及方法，涉及半导体材料激光加工技术领域，包括：激光发生器产生脉冲激光；光斑匀化单元对脉冲激光进行匀化得到方形平顶光斑；光斑整形单元将匀化后的脉冲激光准直为平行光并调节束径；分束与子转移单元将平行光分成两束子光束，且将两束子光束调整为同平面且相互平行并使两束子光束的中心间距可调；激光加工头单元将两束子光束分别聚焦于金刚石表面；三维运动平台承载金刚石并完成对金刚石的扫描抛光。多焦点阵列并行扫描增加单次加工覆盖面积，经过一次扫描即可达到传统单焦点多次扫描的加工效果，显著减少扫描次数，降低加工耗时，提高加工效率。
本发明授权一种基于匀化光纤的双平顶光束金刚石抛光装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于匀化光纤的双平顶光束金刚石抛光装置，其特征在于，包括： 激光发生器，用于产生脉冲激光； 光斑匀化单元，包括匀化光纤，所述匀化光纤用于对脉冲激光进行匀化，得到方形平顶光斑； 光斑整形单元，用于将匀化后的脉冲激光准直为平行光并调节光斑大小； 分束与子转移单元，包括分束器和两条对称子转移光路，所述分束器用于在平行光光路上将平行光分成两束子光束，所述两条对称子转移光路用于将两束子光束调整为同平面且相互平行并使两束子光束的中心间距可调； 激光加工头单元，用于将两束子光束分别聚焦于金刚石表面； 三维运动平台，用于承载金刚石，并控制金刚石与多焦点子光束之间的相对运动，以及调整金刚石与激光加工头单元之间的相对位置，根据设定的扫描速度和扫描线间距，在预设的扫描路径上完成对金刚石的扫描抛光。
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