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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种射频中和器和半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121687813B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610162093.0，技术领域涉及：H01J37/02；该发明授权一种射频中和器和半导体加工设备是由李树瑜;孟子淇;王志超;刘帅设计研发完成，并于2026-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种射频中和器和半导体加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种射频中和器和半导体加工设备，该射频中和器设置于真空腔室外部，射频中和器包括：真空石英腔，其内部无裸露的金属结构；真空石英腔包括进气管口和发射孔；射频线圈用于接收射频能量以电离真空石英腔内的工艺气体；石墨电极结构，位于真空石英腔内，石墨电极结构用于将真空石英腔内的电子从发射孔推出；金属法兰，位于真空石英腔的一侧，与真空石英腔可拆卸连接；石墨隔离结构用于将从真空石英腔内出射的电子与金属法兰隔离，还用于将真空石英腔内的电子引出。本发明可将射频中和器设置在真空腔室的外部，便于向射频线圈通入液冷介质，提高射频中和器的散热效率，可避免射频中和器产生的电子中携带有金属离子，保证电子的纯度。

本发明授权一种射频中和器和半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种射频中和器，其特征在于，设置于真空腔室外部，所述射频中和器包括： 真空石英腔，其内部无裸露的金属结构；所述真空石英腔包括进气管口和发射孔；所述进气管口用于接收工艺气体，所述发射孔用于出射电子； 射频线圈，缠绕于所述真空石英腔的外壁，所述射频线圈为中空结构，用于接收液冷介质，所述射频线圈还用于接收射频能量以电离所述真空石英腔内的工艺气体； 石墨电极结构，位于所述真空石英腔内，所述石墨电极结构用于将所述真空石英腔内的电子从所述发射孔推出； 金属法兰，位于所述真空石英腔的一侧，且与所述真空石英腔可拆卸连接； 石墨隔离结构，位于所述金属法兰远离所述真空石英腔的一侧，且与所述金属法兰可拆卸连接，所述石墨隔离结构用于将从所述真空石英腔内出射的电子与所述金属法兰隔离，还用于将所述真空石英腔内的电子引出； 所述真空石英腔包括石英本体、石英边沿、石英输气管和石英盖板；其中，所述发射孔位于所述石英盖板上； 所述石英边沿与所述金属法兰可拆卸连接，还与所述石英本体的顶部边沿一体连接； 所述石英输气管与所述石英本体的底部一体连接，所述石英输气管远离所述石英本体底部的管口为所述进气管口； 所述石英盖板无缝搭接在所述石英本体内； 所述石墨隔离结构包括石墨空心圆台和石墨边沿； 所述石墨空心圆台与所述石墨边沿一体连接； 所述石墨边沿位于所述金属法兰远离所述石英边沿的一侧，且与所述金属法兰可拆卸连接； 沿所述石英本体的底部指向所述石英本体顶部的方向上，所述石墨空心圆台的直径逐渐增大； 所述真空石英腔还包括与所述石英盖板一体连接的空心石英柱； 所述空心石英柱位于所述石英盖板远离所述石英本体的一侧； 所述空心石英柱在所述石英盖板上的垂直投影全围绕所述发射孔； 所述石墨空心圆台搭接在所述空心石英柱中。

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